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復合式ULSI制程大都采用此種型式

復合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車間：將潔凈車間等級10,000~100,000之亂流潔凈車間內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

2．凈管道：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：①彈性擴充容易;②維修設備時可在維修區輕易執行。

凈化車間內的環氧樹脂自流平型地流施工工藝

凈化車間內的環氧樹脂自流平型地流

施工工藝:

1、打磨地面.清掃、吸塵

2、涂刷封閉底涂

3、刮膩子(中涂)

4、打磨、吸塵

5、自流平面

適用場所: 電子廠，電器廠，食品廠，化妝品廠，包裝廠，紡織廠，服裝廠等

環氧樹脂防靜電自流平型

施工工藝：

1. 基材處理：打磨并清潔地面，要求基材干燥、無空鼓；

2.底涂涂裝：導電底涂涂裝；

3. 鋪設銅箔：橫豎交叉鋪設；

4、中涂涂裝：根據所落地面厚度鑷防靜電中涂；

5、面涂涂裝：鑊圖環氛防靜電自流平面漆。

適用場所: 適用于通訊設備制造廠、芯片制造廠、S下M車間、光學儀器廠、實驗室等有較靜電要求的凈化廠房。

無塵室有裝臟物柜收納整理

假如無塵室有裝臟物柜收納整理臟物得話，那麼還可以在臟物柜里空出相對的掛勾部位，平常無需拖把掃帚的情況下，就收納整理進來，看不見他們的室內空間，可能更為美觀大方簡約。抗靜電拖把特性：拖把頭總寬大，運用條形化學纖維磨擦造成靜電感應帶起球絮污跡物，吸水力發電強，濕區均可應用。優勢：一次可拖至的總面積廣，節省成本；提議一次買二塊各自用以濕區情況。缺陷：拖把尼龍布料總面積大，清理和晾干都需要花比較多的氣力和時間。可用：合適總面積大的木地板、石英磚或大中型的房間內足球場。提醒：清理時把拖把頭夾收起來就可以更換清理拖把尼龍布料。

潔凈拖把特性：運用不織布手工磨擦造成靜電感應來吸咐頭發，清理時不容易塵土滿天飛舞，臟了后立即更換新的不織布手工，省去了清理的不便。優勢：干躁路面吸咐塵土效果非常的好，且拖把頭可隨便調節視角，清理不留死角。缺陷：沒法清除非是毛絮的固態廢棄物，并且應用時必須拆換不織布手工。可用：合適大規模的干躁路面、木材木地板、高空墻面的除灰。