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發布時間:2020-12-19 08:18  
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實驗室氣體的危險性
1.有部分氣體具有毒、強腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會對工作人員及儀器設備造成傷害;
2.多種氣體在同一個環境下使用,如果有兩種會發生燃燒或爆1炸等強烈化學反應的氣體同時泄漏,就可能對工作人員以及儀器設備造成傷害;
3.多數氣瓶出口壓力1高可達15MPa,即150公斤/cm2,如果發生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對人體或設備都具有致命性的傷害。
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特種氣體的應用
電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業,由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。電子行業常用的特氣超過三十余種,按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。按照物理形態可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。
特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
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氦質譜檢漏儀
真空檢漏的方法很多,氦質譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統或容器中;
漏率(漏氣速率):是指單位時間內通過漏孔或間隙流入到真空系統或容器的氣體量;
1小可檢漏率:是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率;
檢漏靈敏度:也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在1佳工作狀態下能檢出的1小漏率;
反應時間:也稱響應時間,是指從檢漏方法開始實施(如噴射示漏氣體)到指示方法或儀器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%時所需要的時間;
消除時間:是指從檢漏方法停止(如停止噴吹示漏氣體)到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間;
漏孔堵塞現象:指由于真空檢漏作業操作不當導致塵埃或液體堵塞漏孔,檢漏時似乎不漏氣,但一經排氣就會出現漏氣的一種現象。
小流量氣體凈化系統
高純供氣系統主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發生器等的高純連續供氣,應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣,也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體,更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。實驗室的氣體的排放是非常重要的,如果說實驗室氣體管道設計不合理,工作人員就容易出事,甚至嚴重的就會有生命危險。
氣體凈化系統根據需求采用常溫或者高溫吸附劑,電化學拋光316L不銹鋼管件,出氣口配置微米過濾器,其氣體純化指標達到各項雜質含量小于1ppb的世界先進水平。
氣體配比儀采用質量流量計,電化學拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。