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光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

　　3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī) FFU送風(fēng)口

　　這是簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車(chē)間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。

凈化工程中空氣凈化處理方案：

　　凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高1效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高1效空氣過(guò)濾器代高1效空氣過(guò)濾器。

　　空氣過(guò)濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合：初效空氣過(guò)濾器不應(yīng)選用浸油式過(guò)濾器;中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高1效空氣過(guò)濾器或亞高1效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，高1效空氣過(guò)濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠，宜檢漏和更換;中效、亞高1效、高1效空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的高1效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在同一凈化車(chē)間內(nèi)。單向流和層流的名稱(chēng)均說(shuō)明了其氣流的狀況：氣流以一個(gè)方向流動(dòng)(或是垂直的或是水平的)，并以一般是0。

      無(wú)塵室溫濕度波動(dòng)大是不是和SCR有關(guān)系？

      判斷物品是否可以帶進(jìn)無(wú)塵室，主要依據(jù)是該物品的發(fā)塵量，是否持續(xù)發(fā)塵，以及是否容易附著灰塵。工具箱一般是金屬或塑料質(zhì)地，擦拭干凈后發(fā)塵量并不大，也不容易附著灰塵，所以一般是可以帶進(jìn)的。

      當(dāng)然具體情況還要看各個(gè)使用部門(mén)的規(guī)定，以及無(wú)塵室的級(jí)別。如果級(jí)別比較高的無(wú)塵室，應(yīng)該也是不可以的。級(jí)別低的無(wú)塵室可以帶入，但也應(yīng)該在使用完畢后及時(shí)帶出。