衡陽(yáng)鋼板電蝕刻機(jī)廠家推薦「藍(lán)光同茂」

發(fā)布時(shí)間：2021-03-31 14:19

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等離子干法刻蝕技術(shù)是利用等離子體進(jìn)行薄膜微細(xì)加工的技術(shù)。在典型的干法刻蝕工藝過(guò)程中，一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中，在外部能量作用下（如射頻、微波等）形成等離子體，干法刻蝕技術(shù)由于具有良好的各向異性和工藝可控性已被廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)品制造領(lǐng)域，憑借在等離子體控制、反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)、刻蝕工藝技術(shù)、軟件技術(shù)的積累與，北方華創(chuàng)微電子在集成電路、半導(dǎo)體照明、微機(jī)電系統(tǒng)、先進(jìn)封裝、功率半導(dǎo)體等領(lǐng)域可提供裝備及工藝解決方案。形成了對(duì)硅、介質(zhì)、化合物半導(dǎo)體、金屬等多種材料的刻蝕能力，其中應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域的硅刻蝕機(jī)已突破14nm技術(shù)，進(jìn)入主流芯片代工廠，其余各類產(chǎn)品也憑借其優(yōu)異的工藝性能成為了客戶的。

金屬化學(xué)蝕刻加工技術(shù)的四個(gè)步驟：

1. 清潔處理：

其目的是將待腐蝕零件毛坯表面的各種污漬清洗干凈，以保證防蝕層能與金屬表面的粘附力均勻一致，并使蝕刻速度均勻不變。常用的清潔處理方法有：

清潔、堿性化學(xué)清潔、酸性化學(xué)清潔、超聲波清潔、有電解清潔處理等。在使用過(guò)程中可根據(jù)零件金屬材料類型及零件表面的污染程度分別選擇

2. 防蝕處理：

其目的是保護(hù)那些不需要腐蝕加工的表面，使需要腐蝕加工的金屬表面完全曝露出來(lái)，而被與金屬性料相適應(yīng)的腐蝕劑所腐蝕。這一工序要求：防蝕材料要與金屬表面粘附牢固，并在整個(gè)腐蝕過(guò)程中不會(huì)發(fā)生防蝕層脫落現(xiàn)象。防蝕處理主要包括：絲網(wǎng)印刷防蝕技術(shù)、照相化學(xué)防蝕技術(shù)、移印防蝕技術(shù)、圖形電鍍防蝕技術(shù)、激光光刻防蝕技術(shù)及刻劃防蝕技術(shù)等。

3. 腐蝕加工

是將被腐蝕金屬零件按圖紙要求制作好防蝕圖文后，放入腐蝕槽中進(jìn)行腐蝕加工的過(guò)程。在這一工序中主要控制：腐蝕劑濃度、腐蝕溫度、蝕刻時(shí)間，蝕刻壓力等。金屬腐蝕加工根據(jù)圖紙要求可分為五種基本類型，即：整體腐蝕、選擇腐蝕、多臺(tái)階腐蝕、錐度腐蝕和化學(xué)切割下料。金屬腐蝕不需要進(jìn)行防蝕處理，零件經(jīng)清潔處理后即可進(jìn)行腐蝕加工。

4. 清除防蝕層：

零件經(jīng)腐蝕合格后，使用溶劑、堿液或其他清潔劑將零件表面的防蝕層去掉。