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發布時間:2021-07-01 04:52  
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1>.一般石墨舟在運行 100 至 120 次后就應該對石墨舟進行清洗,石墨舟清洗次數達到后,硅片會發紅。 這是因為舟上的 SiN 會隨著運行次數的增加而增加,影響舟的正常使用。
2>.在室溫條件下 (<40°C),將舟放入32升HF酸中,大約高過石墨舟1.5cm左右。
濃度是 10%, 腐蝕時間為 10-12小時。低濃度條件下,腐蝕槽會被產生的 SiN 顆粒污染,因此需要進行定期的過濾維護。 濃度高于 10%會對操作人員造成危險。其他部件應該被分開放入腐蝕槽內并且不可互相接觸,這樣 HF 酸就可以腐蝕到任何部位,這對于石墨連接塊而言更為重要。

石墨棒功率的調整方式,建議通過調整電壓的方式來調整功率。推薦石墨棒的調壓方式選擇可控硅調壓或調壓器調壓。一般不采用通過改變周波數的調功器的方式來調整。
一般情況下,石墨棒表面負荷密度是由爐內溫度和石墨棒表面溫度的關系求得,建議使用石墨棒較大表面負荷密度1/2-1/3數值的功率。給石墨棒加的電流量越大,石墨棒的表面溫度越高。建議使用盡量小的表面負荷密度(功率)。

深圳市石金科技股份有限公司主營:石墨制品、石墨轉子、石墨舟、石墨氈、石墨熱場、CC復合材料、石墨材料、石墨零件、石墨板、VC散熱石墨模具、VC散熱石墨治具、超薄VC散熱石墨模具、超薄VC散熱石墨治具,歡迎咨詢!
石墨零件具有經過特殊加工的石墨,具有耐腐蝕、導熱性好、滲透率低等特點。
石墨零件的熔點為3850±50℃,沸點為4250℃,即使經超高溫電弧灼燒,重量的損失很小,熱膨脹系數也很小。