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發布時間:2021-10-23 02:23  
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濕式蝕刻的優缺點
低成本、高可靠性、高產能及優越的蝕刻選擇比。但相對于干式蝕刻,除了無法定義較細的線寬外,濕式蝕刻仍有以下的缺點:1)需花費較高成本的反應溶液及去離子水;2)化學藥品處理時人員所遭遇的安全問題;3)光阻附著性問題;4)氣泡形成及化學蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻;5)廢氣及潛在的性。
濕式蝕刻過程可分為三個步驟:1)化學蝕刻液擴散至待蝕刻材料之表面;2)蝕刻液與待蝕刻材料發生化學反應;3)反應后之產物從蝕刻材料之表面擴散至溶液中,并隨溶液排出(3)。三個步驟中進行慢者為速率控制步驟,也就是說該步驟的反應速率即為整個反應之速率。
大部份的蝕刻過程包含了一個或多個化學反應步驟,各種形態的反應都有可能發生,但常遇到的反應是將待蝕刻層表面先予以氧化,再將此氧化層溶解,并隨溶液排出,如此反復進行以達到蝕刻的效果。如蝕刻硅、鋁時即是利用此種化學反應方式。
能夠影響蝕刻工藝品質量的因素都有哪些呢?
1、蝕刻工藝品的方式:浸泡和鼓泡式蝕刻會形成較大的側蝕,潑濺和噴淋式蝕刻側蝕較小,尤以噴淋蝕刻效果好。
2、蝕刻液的品種:不同的蝕刻液化學組分不同,其蝕刻速率就不同,蝕刻工藝品的蝕刻系數也不同。例如:酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數通場3,堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數可到達4。近來的研討標明,以為根底的蝕刻零碎可以做到簡直沒有側蝕,到達蝕刻的線條側壁接近垂直。這種蝕刻零碎正有待于開發。
不銹鋼蝕刻是怎么達到效果的
不銹鋼蝕刻是怎么達到效果的 有很多的產品都需要有加工技術才可以把銷售量給提高,而且還可以讓產品更加的,而現在的不銹鋼蝕刻也是非常受歡迎,而它主要的還是它的技術問題,技術會影響整個產品質量。 很多時候我們看到的都是已經完成蝕刻作業的金屬蝕刻產品,也正是見到的都是完成品,所以對于蝕刻作業中各種操作我們都是一問三不知。金屬蝕刻聽起來好像很簡單,但是在實際的操作中卻是有著許多需要注意的問題。當然這其中所遇到的問題我們可以不用去了解,但是對于金屬蝕刻的作業過程還是可以簡單了解一些的。 其實我們平常所說的金屬蝕刻也叫作光化學金屬蝕刻,主要及時通過曝光制版加顯影之后,再將金屬蝕刻區域上的保護膜去除掉,然后再在金屬蝕刻的時候接觸化學溶液,從而達到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者是鏤空成型的效果。 在蝕刻的過程中一定要注意操作規范,因為化學溶液具有強烈的腐蝕性,如果接觸到皮膚的話那將會是非常痛苦的事情,所以一定要特別注意!
