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被抽氣體的溫度可能過高。解決之道：降低被抽氣體的溫度，或可以加一個相應的換熱器。愛發科VDN901旋片真空泵專修泵內的油路不通或者不暢，泵腔內沒有保持一定量的油量。解決之道：檢查油路是否暢通，并加同類型的真空泵油。愛發科VDN901旋片真空泵專修配合的間隙改大。（2）泵內齒輪箱內積碳：因泵軸承損壞，轉子軸套與端蓋中間磨擦導致高溫，齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。這是長期被抽氣體內含有粉塵等，造成旋片和定子之間磨損后的間隙增大。解決之道：檢查間隙是否過大，更換新的零部件。

由于真空泵在高速工作的情況下會形成，轉子轉速過快會形成支持轉子的軸承發熱。

軸承損壞：軸承翻滾體及軸承保持架損壞后都會伴有軸承過熱的表象呈現。軸承損壞有必要及時替換新軸承。

光滑表象：光滑脂增加量過大過小，或光滑脂類型不符合，其使用時間過長或許光滑脂被污染都會形成軸承發熱。此刻，應查看光滑脂類型，問詢廠家適宜的用量，調整好光滑脂即可康復軸承溫度。

轟動影響：當泵體或軸承轟動較大時都會發生軸承溫度過高的表象，查看泵體找出轟動緣由，消除轟動，則軸承溫度康復。

愛發科VDN901旋片真空泵專修

清洗吸氣過濾網吸氣濾網應保持清潔，以免抽速下降。

更換排氣過濾器如果泵溫明顯升高、電動機電流達到或超過額定電流，泵排氣口有油煙產生，則應檢查排氣過濾器是否堵塞，如堵塞，應及時更換。可在泵加油孔處安裝排氣壓力表，檢查過濾器是否堵塞。當壓力超過0.6bar（表壓力）時可更換排氣過濾器。

貯藏如果泵長期擱置不用，應將油放盡并清洗泵，然后注入規定的新油放置在干燥場所。

針對真空泵腐蝕的修復方法：

徹底清除表面氧化層，用將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護，專業的安裝方式完工。

愛發科NRL系列在低溫領域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮短非氣時間的重要工藝腔體的排氣。

愛發科真空泵NRL180A特點：

低噪音、低振動、的耐腐蝕性。

標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。