天津芯片廠凈化工程推薦「華一凈化」

潔凈室(區)內設置真空泵時,應符合下列規定

潔凈室（區）內設置真空泵時，應符合下列規定：1．電子工廠裝修對于傳輸、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統聯鎖。2．對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過下限的20%時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統前應去除或稀釋可燃氣體組分。3．使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統。

潔凈廠房的安全出口設置,應符合下列規定

潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規定：1．丙類生產的電子工業潔凈廠房，在關鍵生產設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于規定的安全疏散距離的1.5倍。2．工廠裝修時要給每一生產層、每個防火區或每一潔凈室的安全出口數目，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》的有關規定。3．安全出口應分散布置，并應設有明顯的疏散標志；安全疏散距離應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》的有關規定。安全疏散用門應向疏散方向開啟，并應設觀察玻璃窗.

做好凈化車間,搬運是不能小看的

另外就是搬運，任何一項工程中，不可能沒有搬運的過程。做好凈化車間，搬運是不能小看的，搬運主要是分為三個工程，首先是搬運之前的準備，需要把潔凈空調安裝好，確保能夠盡快使用。其次，搬運過程中，一定要防止有相關器材出現污染現象，而且由于搬運肯定會有不同程度的震動，但是仍然需要盡可能減少震動，防止出現設備損壞，還要減少噪音。后是安裝好之后，凈化車間工作人員要統一好服裝、口罩等等，檢查符合了標準，才能夠上崗投入到工作中。

有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理辦法

現今社會，無塵凈化車間的裝修被很多生產型企業所重視，無塵凈化車間不僅能對產品的精度、質量、穩定性及成功率等都有顯著的作用，同時還能在一定情況下保證工作人員的工作安全。對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術。對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理辦法。因為半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點，使用其他的處理技術難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉輪后再吸附或焚燒。