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發布時間:2020-12-20 13:16  
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氦質譜檢漏儀特點
1,獨特的氣路設計,提高了對氦的抽速,縮短了清氦本底時間,有效防止氦污染。2,檢漏口配備:定制精密過濾裝置,可有效避免雜物顆粒或銅粉進入儀器內部。3,多模式功能輸入、輸出,輕松連接各種自動化設備。4,機械與電路有效分開,避免了溫度、電磁場等彼此干擾,使檢漏儀運行更加穩定、可靠。5,可檢漏率低,靈敏度高,檢測量程達到11級。
氦質譜檢漏儀的工作原理是什么?
檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個密封腔體內充滿氦氣,用質譜檢漏儀在不腔體外,不同部位檢測,如果密封存在問題,則有氦氣泄漏,被質譜儀檢測到。質譜檢漏儀是一種簡易的質譜儀,對分辨率和檢測的質量范圍要求很低,但對靈敏度要求較高。其實各個種類的質譜儀都可用來作為檢漏質譜儀。
氦質譜檢漏的原理
氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理,實現被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時,示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出,泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后,由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力,僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎上,通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。