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發布時間:2021-01-06 19:52  
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本底值影響l大的是分析高純氣中氮和氧(空氣中的主要成分)。經純化后的載氣如仍產生本底影響,其主要原因是漏氣產生的。管路中有接頭、閥、表等就不可避免會漏入空氣。該技術由公司自主研發,工藝最l大特點是以廉價中低階粉煤、粉狀石灰作原料,可替代高階煤炭、蘭炭、焦炭、塊狀石灰等原料,能夠重塑能源生產與消費體系,為推動綠色低碳發展提供重要科技支撐。我們只能控制一定漏量,使之不影響分析。也就說“漏氣”是絕l對的,“不漏”只是相對的。例如使用高純氬氣分析儀時,為保證分析純氣純度必須優于6個“9”。我們將載氣凈化到7個“9”以上,留出一定“空間”,使“漏氣”后仍滿足分析要求。在高純氣體分析儀上不允許使用有機材料作密封(因為空氣中氮、氧能穿透有機材料滲透進入系統中),包括各種橡膠,聚四氟乙烯等[27];另外,還要盡量少用卡套。
8、使用氫氣前,必須對設備、管道、閥門等連接點泄露進行認真仔細的檢查;并用肥皂水或攜帶式可燃性氣體爆檢測儀進行檢查,禁止用明火檢查。
9、氫氣系統設備運行時,嚴禁敲擊、帶壓緊固和維修,不得超壓,禁止處于負壓狀態。
10、使用新氫氣管接頭(新事故槍接頭)時,必須進行清l脂脫油處理。
11、切割結束,關閉氫氣、氧氣后,要對割嘴再點火,使氫氣管道內余下的氫氣充分燃燒完,避免下次點火發生爆l炸或氫氣管子發生燃燒l傷人。
12、使用氫氧火焰,閥門操作順序為:點火時,先開氫氣閥,點燃后,開氧氣閥;停用時,先關氧氣閥,熄滅后,關氫氣閥。
13、氫氣吹洗臵換、放空降l壓,必須通過排放管排放。
14、氫氣系統停運后,應有盲板或其他有效隔離措施隔斷,應使用符合安全要求的惰性氣體進行臵換吹掃,氫氣系統內氧或氫含量至少連續2次分析合格。
15、氫氣作焊接、切割、燃料和保護氣等使用時,每臺(組)用氫設備的支管上應設阻火器。
為進一步提高高純氧氣的內外質量,達到內控標準,更好地適應和滿足市場需要,為下一步真正達到和超過國標要求創造條件,生產部籌劃、組織對高純氮、高純氬等高純氣體的生產成立高純氣生產小組,采取定崗、定人、專職、專瓶的控制措施,并對高純氣生產及管理制定了嚴格的規范,近一個月來進行了人員培訓、流程熟悉及試生產等工作,已逐步走上正規??垢g性微電子生產中,經常使用一些腐蝕性很強的氣體,這時必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會被腐蝕,輕則表面產生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會發生安全事故。對滿足客戶需求,提高企業信譽有了一個良好的開端。
7.內表面處理
為了進一步改善管道材料特性,對管道內表面進行處理,一般有三種方法:酸洗鈍化(AP),光亮退火(BA)和電解拋光(EP)處理。試驗資料和實踐都證明,通過表面處理后。管道材料的粗糙度減小。出氣速率降低。表面吸附性減弱。
8.管道材料及連接
純度在99.99%以內的氣體管道,采用10#或20#無縫鋼管(內表面鍍鋅或純化處理)、銅管。鍍鋅管道采用螺紋連接??傠s質含量≤10—100ppm的氣體管道,采用304不銹鋼光亮退火管(304BA)、304不銹鋼管純化處理(304AP)、紫銅管。9999%以內的氣體管道,采用304不銹鋼球閥,可以采用法蘭連接,法蘭墊片為軟金屬墊片、聚四氟乙烯墊片。管道采用焊接連接,可以采用對接焊、承插焊或套管焊接??傠s質含量≤1-1oppm的氣體管道,采用316L不銹鋼光亮退火管(316LBA)、316L不銹鋼電拋光管(304EP)。管道連接采用焊接, 內壁無瘢痕的對接焊,高純氬氣保護焊??傠s質含量≤lppm的高純氣體管道,必須采用316L不銹鋼電拋光管(3l6LEP)。管道連接采用焊接,內壁無瘢痕的對接焊,高純氬氣保護焊,在專用的潔凈室內進行。