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廣州潽拓——專業(yè)維修PFEIFFER DUO 3

雙級旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋轉(zhuǎn)式排量泵。泵系統(tǒng)包括一個殼 體 (1)、一個偏心地

安裝的轉(zhuǎn)子 (2)、在離心力和彈力作用下 徑向移動的葉片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口閥（如配置）被設(shè)計為真空安全閥，該閥在操作過程中始終處于打開狀 態(tài)。

工作室 (5) 位于殼體內(nèi)，并受到定子、轉(zhuǎn)子和葉片的限 制。偏心安裝的轉(zhuǎn)子和葉

片將工作室分為具有可變?nèi)莘e的兩 個獨立艙。當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時，氣體流入擴大的吸入

室直至其被 第二個葉片封住。封閉氣體然后進行壓縮，直到出口閥沖破 大氣壓力

而開啟。出口閥是油封的。當(dāng)閥打開時，少量的油進入吸入室，不僅能夠?qū)ζ溥M行

潤 滑，而且能夠?qū)⑷~片與殼體（定子）密封開來。

旋片式真空泵的工作原理

在氣鎮(zhèn)操作的情況下，一個孔向外側(cè)打開，讓氣體流入前側(cè) 的密封吸入室。因此，

在壓縮抽吸階段，在相對低的壓縮下 達到打開出口閥所需的壓力。這使得蒸汽開始

冷凝前排出置 換的氣體/蒸汽混合物。在操作過程使用氣鎮(zhèn)達到的終壓力 高于無

氣鎮(zhèn)操作所達到的壓力。

工作液、油

泵油，也稱為工作液，在旋片式真空泵中泵油有多個任務(wù)要 執(zhí)行。它潤滑所有移動

部件，填充出口閥下的固定空間以及 縮小入口和出口之間的間隙。它壓縮葉片和工

作室之間的間 隙，此外還通過熱傳遞確保溫度平衡。

多級泵

旋片式真空泵是內(nèi)置的單級和兩極版。二極泵比單級泵實現(xiàn) 相對更低的極限壓力。

此外，氣鎮(zhèn)對極限壓力的影響較低， 因為氣鎮(zhèn)僅允許在高壓力級使用。

真空安全閥

根據(jù)所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空安全閥。 真空安全閥在有意或意

外停頓的情況下將泵與真空室隔離， 并使用置換氣體對泵系統(tǒng)進行排氣，防止油液

上升到真空室 中。在開啟泵后，一旦泵中的壓力已達到真空室中的近似壓 力，它

稍作延遲就打開。

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分子泵應(yīng)用一：Hipace 300某研究所自主搭建小型質(zhì)譜系統(tǒng)

分子泵應(yīng)用二Hipace 300 應(yīng)用于MBE 與 STM 聯(lián)用--分析生長晶體表面結(jié)構(gòu)

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