氦質譜檢漏儀檢漏價格信賴推薦「華誠浩達」

氦質譜檢漏儀檢漏方式

1、示蹤氣體A放在容器里面，處于正壓，然后用氦質譜檢漏儀去檢測，容器外圍是否有氣體A，如果容器外有氣體A，則容器有漏。用這種方式能檢測出漏點，并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫Sniffer檢漏或正壓檢漏。

2、示蹤氣體A噴在容器外面，用氦質譜檢漏儀去檢測容器里面是否有氣體A。這種方式能檢測出漏點，并能測知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環境有很大關系，盡量做到與檢測對象的工作狀態一致。如檢測對象工作時內部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內部處于負壓，則用真空模式。

氦質譜檢漏儀示蹤氣體選擇

對示蹤氣體的要求：氦質譜檢漏儀都用氦氣(He)作為示蹤氣體，也有用氫氣(H2)作為示蹤氣體的質譜檢漏儀器。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體：空氣中的含量少，質量輕，運動速度快，同等條件下，直線運動距離長。實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問題，所以實際大部分檢漏使用的是氦氣。質譜檢漏儀器示蹤氣體一般具有以下特點：

1、無害，不能對人體或環境造成傷害。

2、質量輕，惰性氣體，能穿透微小細縫。

3、化學性質穩定，不會起化學反應。

4、Z好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。

氦質譜檢漏儀的真空系統

氦質譜檢漏儀真空系統一般包括：

1、主泵：一般用護散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-4Pa，其抽速應導氣載匹配。

2、前級真空泵：一般采用旋片式機械真空泵，在以分子泵為主泵的系統中也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa，抽速導主泵匹配。

3、預抽真空泵：一般與前級真空泵共用一個泵，也有專用預抽真空泵的。預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預抽真空泵大都由用戶自配。

4、冷阱：分子泵型真空系統一般不加冷阱。護散泵型真空系統的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質譜室，保持質譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。

真空壓力法氦質譜檢漏

采用真空壓力法檢漏時，需要將被檢產品整體放入真空密封室內，真空密封室與輔助抽空系統和檢漏儀相連，被檢產品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入真空密封室，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品總漏率的測量。真空壓力法的優點是檢測靈敏度高，能實現任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的真實泄漏狀態。