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發布時間：2020-11-09 14:25
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高壓開關檢漏——氦質譜檢漏儀
高壓電器行業提出的《生產63kv及以上GCB與GIS的必備條件》提出了產品符合技術條件和安全性。高壓開關設備使用SF6氣體作為絕緣滅弧的介質，產品要求開關內部的SF6氣體泄漏量要小，也就是要很好的密封性。所以再生產過程中就要對部件以及出廠整機做檢漏，高壓電器采用的氦質譜檢漏儀的氦質譜法比較方便，易操作，檢漏效果也得到認同。
鹵素檢漏儀檢漏是過去常用的方法，由于靈敏度低，難免發生泄漏和誤檢，使總裝后的產品氣密性達不到要求，導致返工，不但浪費了人力物力，也耽擱了生產周期。由于采用了氦質譜檢漏儀彌補了傳統檢漏的不做，同時可以檢漏漏點和漏率。
氦質譜檢漏儀的檢漏方法根據被檢工件的情況而定的：
1.對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦，同時觀察漏率顯示，一大增大，就說明工件不合格。
2.對于體積較大的工件，采用背壓發，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。先用輔助抽空系統抽至5Pa以下，關掉抽氣閥，打開檢漏閥，進行檢漏。漏率超過值即為不合格。
3.對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用吸槍在被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數值超過規定值即為有漏。
安徽諾益科技有限公司是一家專業從事氦質譜檢漏儀、氦檢漏真空箱及回收系統的研發、生產及銷售為一體的專業型高科技企業。自成立以來嚴格執行產品國際標準、及行業標準，應用現代經營理念與管理手段，擁有強大的技術支持和先進的生產與檢測設備，精心制造出穩定性好、效率快和功能齊全的NOY品牌高精儀器產品。
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氦質譜檢漏儀的優勢
科技信息化不斷更新迭代的市場，氦質譜檢漏儀的應用技術也在不斷發展和完善。一方面過去的氦質譜檢漏儀不能滿足現階段的一個需求，而且對檢漏儀提出新要求的情況下，檢漏儀設備使更新，另一方面每個行業的不足都在進步的過程，缺陷與不足相互補充，相互促進。而現在的氦質譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形，在性能和領域上都有新的突破。
氦質譜檢漏儀從以往的單方面領域的應用到現在多領域的應用，如：航空航天高科技工業、電力行業、電子行業、真空儀器儀表行業、核工業、制冷行業、不銹鋼保溫器皿等。其實氦質譜檢漏儀的領域應用廣發也是代表科技的一大進步，常見的氦質譜檢漏儀檢測儀方法有漏點型、漏率型兩種。
氦質譜檢漏儀適用于元件檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速啟動，移動性和系統的可靠性。
氦質譜檢漏儀的日常保養與維護
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質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用，但是在長時間的使用過程中常常會出現一些故障和現象，從而影響設備的正常使用。
檢漏儀的故障和處理
1 內部的泄漏
當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。
2 本底信號不穩定
1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風，降低環境本底。
2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，檢漏儀應有可靠的接地。
3）本底信號不穩定，檢查泵油是否渾濁，被污染。
3 設備的分子泵不啟動
分子泵不啟動，主要有檢查供電和前級真空是否正常（較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動）。或者是分子泵本身因振動和粉塵污染造成的損壞。
4 設備的質譜室不能正常工作
質譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。
5 前級機械泵工作不正常
主要經常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會使油色變黑，水汽會使油色呈現乳白色，都將導致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動，過高的溫度也會使機械泵產生熱保停止工作，使用機械泵的環境溫度在 10至 40之間使用。
質譜法基本原理
質譜,又稱質譜法（mass spectrometry,MS），是通過不同的離子化方式，將試樣（原子或分子）轉化為運動的氣態離子，并按照質荷比（m/z）大小進行分離檢測的分析方法，是一種與光譜并列的譜學方法。根據質譜圖上峰的位置和相對強度大小，質譜可對無機物、有機物和生物大分子進行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年發明質譜，并運用于發現非性同位素和無機元素分析。20世紀40年代以后開始用于有機物分析。Thomson JJ于1906年發明質譜，并運用于發現非性同位素和無機元素分析。20世紀40年代以后開始用于有機物分析。80年代初期，快原子轟擊電離的應用，是質譜更好的運用于生物化學大分子。90年代以來，隨著電噴霧電離和基質輔助激光解吸電離的應用，已形成生物質譜學一新學科[1]。目前，質譜法已經日益廣泛的應用于原子能、化學、電子、冶金、、食品、陶瓷等工業生產部門，農業科學研究部門，以及物理、電子與離子物理、同位素地質學、有機化學等科學技術領域[2]。
質譜法的基本原理是試樣分子或原子在離子源中發生電離，生成各種類型帶電粒子或離子，經加速電場的作用獲得動能形成離子束；進入質量分析儀，在其中再利用帶電粒子在電場或磁場中運動軌跡的差異，將不同質荷比的離子按空間位置或時間的不同而分離開；然后到達離子將離子流轉變為電信號，得到質譜圖。
質譜儀基本結構，化合物的質譜是由質譜儀測得的。質譜儀是使分析試樣離子化并按質荷比大小進行分離、檢測和記錄的儀器。一般質譜儀由進樣系統，離子源，質量分析儀，離子及信號放大記錄系統組成
