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              重慶磁控濺射鍍膜機在線咨詢「至成真空科技」

              發布時間:2021-09-05 19:57  

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              真空鍍膜機冷卻配套冷水機的作用


              真空鍍膜機冷卻配套冷水機的作用是維持真空鍍膜機器的溫度,使其工作達到、率控制溫度的目的。以前在沒冷水機的情況下,自然水和水塔散熱都不可避免地受到自然氣溫的影響,而且此方式控制是極不穩定的。因此,可以說冷水機是真空鍍膜設備中非常重要的配套冷卻設備,因為冷水機直接關系到真空鍍膜機工作效果的好壞。

              真空鍍膜機為什么要配套冷水機?

              這個要從真空鍍膜工作原理查看:膜料在高溫下蒸發落在工件表面結晶。由于空氣對蒸發的膜料分子會產生阻力造成碰撞使結晶體變得粗糙無光,所以必須在高真空下才能使結晶體細密光亮,如果真空度不高結晶體就會失去光澤,結合力也很差。

              冷水機設有制冷系統和冷卻水循環系統,水溫在5℃~30℃范圍內調節控制,可以達到、率控制溫度的目的。其冷卻原理是:制冷系統將水冷卻,再由水泵將低溫冷卻水送入真空鍍膜機進行降溫,冷水機冷凍水將熱量帶走后溫度升高再回流到水箱,達到冷卻的作用。



              真空鍍膜機的自控檢測裝置


              真空鍍膜機有一個自控檢測裝置,它可以被動的進行動態防護。在實際運用過程中,為了研究和改進檢測裝置,考慮到溫度影響過濾材料的吸附和吸收性能,會將裝置置于空調房間。濕度一方面影響過濾材料吸濕,又會對試劑吸收性能產生影響,要求嚴格控制。根據催化劑測定管和比速來確定,流量的大小與動態防護時間成反比,試劑濃度與動態防護時間也成反比,其波動還會影響到終點確定。

              為了滿足要求不時的也會做出各種改進,主要方面有用E E29型溫濕度傳感器代替了干濕球濕度計,通過控制干濕兩路流量比,代替了原來的玻璃調濕槽,采用噴射泵技術,在較低的試劑壓力下,實現了長時間試劑均勻混合,濃度穩定。



              真空鍍膜設備的環境要求


              由于真空鍍膜設備要在真空條件下工作,因此該設備要滿足真空對環境的要求。

              我國制定的各種真空鍍膜設備的行業標準(包括真空鍍膜設備通用技術條件、真空離子鍍膜設備、真空濺射鍍膜設備、真空蒸發鍍膜設備)都對環境要求作了明確規定。只有滿足了真空鍍膜設備對環境的要求,才能使該設備正常運轉,加上正確的鍍膜工藝,方能生產出合格的鍍膜產品。



              真空鍍膜機設計安全


              安全保護系統對任何儀器設備都是很重要的。為保證整機設備和人身安全,對于用戶來說,我們設計分配了2級的安全級別,即管理者和操作者。管理者可以修改工藝和參數,而操作者只能執行程序,查閱程序參數。

              不論是工作在自動工作方式,還是手動維護方式,輸出量的互鎖保護都是非常重要的。為防止誤操作,我們設計了互鎖電路和程序互鎖的2級互鎖。條件不充分按錯鍵時,系統給予提示不執行錯誤命令。系統中還增添了某些重要參數的安全區域報警或警告。通過紅黃綠三色警示燈和訊響器的控制動作,分別實現各種情況的警示。如工藝過程中工藝氣體充氣流量稍低于設定流量時,給予黃燈訊響警告仍然繼續工作,壓力恢復后流量轉為正常,綠色指示燈亮。但當流量低于設定的下限時,紅燈點亮報警,停止工藝進程

              鍍膜機通過用戶的使用和生產,證明整個程序化自動控制系統滿足了用戶的使用要求。


              控制系統界面清晰友善、編程簡單、操作方便、數據查閱迅速、系統穩定可靠、工藝重復性好,光學減反射膜層的透射率等性能指標完全符合航天GaAs太陽電池的要求,并為今后提高GaAs太陽電池的減反射膜層性能提供了良好的平臺。

              盡管如此,電子束蒸發鍍膜機的發展在國內已有幾十年,技術雖不斷提高,但比較國外先進技術還有一定差距。本文對電子束蒸發鍍膜機所應用的控制技術國際上雖然不是很新的技術,但此方面控制系統的應用,在國內生產的真空應用設備上還很少,且要能長期工作穩定可靠,還有很大的發展空間,這是和國內真空行業在真空應用設備上的整體發展水平相關的。



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