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發布時間:2021-07-28 07:22  
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淪分子泵是一套超高速、超真空的裝置,它的旋轉速度高達90000RPM(1500轉/秒),形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下(十億分之二個大氣壓),并且它設計緊湊,體積小,重量輕。我們的產品解決方案您可能需要使用渦輪分子泵(TMP)以便在您的制程工具上實現超高真空。主要有兩個系列:STP和EXT,主要區別是EXT系列的回轉軸承是陶瓷的,而STP系列的回轉軸承是用磁性材料制成的。
五、羅茲泵
EDWARDS在全球早推出高抽速的羅茨泵,其抽氣率從240m3/h到4500m3/h,極限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽氣率,常串油式或干式泵使用
六、真空計
愛德華真空計測量范圍從2000-10-11mbar,內設先進的微處理器控制;


真空泵轉子與靜止件軸向摩擦的振動機理
理論研究和試驗表明,轉子與精致件發生軸向摩擦時,真空泵轉子的振動特征幾乎與正常狀況一致,沒有明顯的異常特征,所以診斷軸向摩擦時,不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識別,必須尋求新的銘感參數。
真空泵軸向干摩擦力與旋轉速度有關,由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降,同時有高頻成分出現,所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉子與靜止間的干摩擦因數和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠大于徑向摩擦
阻尼,由于軸向干摩擦會引起系統阻尼的顯著增加,因此系統阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。
另外,摩擦會造成成功耗上升和效率下降,同時局部會有溫升,因此工藝參數對轉子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要






真空泵是一種較為精密的機械設備,用戶在使用過程中,真空泵抽真空難免出現抽氣量不足或者真空度不高的現象,引起這些現象的原因是很多的。
真空泵真空度降低該怎么辦?
真空泵真空度降低的故障原因:管道密封不嚴,有漏氣的地方;密封填料磨損;葉輪與端蓋的間隙過大;水環溫度過高(一般不應超過40℃)。
真空泵真空度降低的排除方法:擰緊法蘭螺釘或更換襯套;更換填料;調整間隙(一般應為0.15~0.2mm);增加水量并降低進水溫度。