愛德華干式真空泵維修真空系統「明勝機電」

概述

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。

應用

半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

功能和優勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行。

牢靠且防腐蝕。

先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。

軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

訂購信息

Edwards真空泵 EH4200 羅茨真空泵 愛德華羅茨泵 機械增壓泵

EH4200 Industrial

●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW NRC215000

●EH4200IND 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30976982

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp NRB988000

EH4200 PFPE*

●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW On application

●EH4200FX 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp On application

EH4200 Chemical**

●EH4200C 230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30956982

●EH4200T3 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30941935

●EH4200T160 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30979900

原裝進口愛德華真空泵油新品，全國包郵Edwards愛德華真空泵油，真空泵油可改善真空泵性能、耐

磨性和抗高溫性好，泵油使用后不容易乳化與積炭，從而延長換油的時間間隔。品質保證，歡迎購

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愛德華真空泵油 / ultragrade70    包裝規格：1L, 4L，16L

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真空泵油注意事項：

1、真空泵油在密封條件下保質期可以達到3-5年

2、新泵浦初次使用500小時后更換泵油，以后每工作1000-1500小時更換一次。(注：使用環境比較惡

劣要經常觀察泵油顏色）

3、檢查油位鏡，當泵油變成黃褐色轉入黑色或變成乳白色，需要更換真空泵油。

4、合理地選用真空泵油, 將會對泵的極限分壓力、極限全壓力、起動、功率消耗、泵溫、泵性能的穩

定性、真空泵的使用壽命都有好的幫助。

5、供應進口真空泵油，進口真空泵，原廠真空泵配件，真空泵維修保養，真空系統定

做與設計。

半導體加工我們繼續革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環境的排放、延長產品使用壽命并降低持續服務成本，努力協調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統，因為它們能夠滿足成熟制程與發展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統等各種系統，用來優化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。7ft3min-1速度(Pneurop6602)50Hz17。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關鍵步驟。雖然傳統甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應對這兩種應用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統 提供極短的波長。要讓您的系統具有 性能，真空環境是關鍵。我們擁有20余年的經驗，已在全球安裝了100000多臺Drystar泵。真空系統的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發了 精密真空系統，可為您進行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統的精密性 和長正常運行時間至關重要。

我們的產品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現超高真空。愛德華U19真空泵油減小和減少運動面之間的摩擦、磨損，延長零部件的使用壽命,同時真空泵油能迅速將油液中夾帶的水分分離出來，達到所需的真空度。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。目前開發的產品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

適用于鋰離子電池制造設備的全球真空泵制造商鋰離子電池正在推動全世界的環保議程，可靠的高質量真空是其制造過程中的關鍵因素。我們有一系列適合所有電池制造需求的泵，這些泵由全球服務和支持網絡提供支持。 油封旋轉式葉片泵：

低成本干泵：

可減少維護成本并降低環境影響智能泵：

高控制功能ATEX 認證版本：

安全操作

惠州市明勝機電設備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養服務（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環式等真空泵維修保養）以及各類進口真空泵配件耗材。惠州市明勝機電設備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養服務（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環式等真空泵維修保養）以及各類進口真空泵配件耗材。服務品牌：普旭（博世）、里其樂、萊寶、貝克、愛發科、愛德華、大晃、斗一，阿爾卡特等進口真空泵。