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光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)

換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。

溫度45－65％；GMP車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

洗凈室、品質(zhì)檢查室凈化級別為7 級，采用新風(fēng)機組（MAU） 循環(huán)機組（AHU） 風(fēng)機過濾器單元（FFU)）的空調(diào)方式。采用的氣流形式為頂部FFU送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿布率為33%，洗凈室、品質(zhì)檢查室對NH4 、SQx濃度有要求，需在循環(huán)機組（AHU）內(nèi)增設(shè)化學(xué)過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風(fēng)混合-化學(xué)過濾器（NH4 ）-化學(xué)過濾器（SQx）-中效過濾器-表冷器-送風(fēng)機-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-風(fēng)機過濾器單元（FFU）-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。

除CP室外的潔凈室所需新風(fēng)采用2臺新風(fēng)機組（MAU-1、2）集中處理，新風(fēng)集中處理后送至各循環(huán)機組（AHU）。其氣流流程為：新風(fēng)入口-粗效過濾器-中效過濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風(fēng)機-送風(fēng)管-各循環(huán)空調(diào)機組（AHU）。

凈化車間的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，不僅在商場、車站、學(xué)校、飯店等公共場所得到普遍應(yīng)用，在養(yǎng)殖場、工廠、車間、紡織、印染、玻璃、食品生產(chǎn)等工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域更是隨處可見。

凈化車間工程針對于其他電子信息行業(yè)以及衛(wèi)生行業(yè)，還有生物工程以及航空航天等等各種各樣的行業(yè)，也都是有著非常廣泛的應(yīng)用，在如此廣泛的應(yīng)用過程當(dāng)中，對于潔凈環(huán)境的打造來說，必須要有專業(yè)的工作團隊來進行設(shè)計，才可以更好的保證使用效果，而且針對所有的工作人員，必須要保證接受正規(guī)的培訓(xùn)。

同時對于凈化車間工程的設(shè)計團隊，大家可以選擇專業(yè)的、好的團隊，而且在施工的過程中也可以保證安全和穩(wěn)定的作用，對于標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范以及詳細的參數(shù)，都可以達到行業(yè)內(nèi)高的水準(zhǔn)，自然可以得到各行各業(yè)使用者的肯定，而且是發(fā)揮了相當(dāng)強大的作用和功能。