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              愛德華干式真空泵廠家鍍膜真空系統,惠州明勝機電

              發布時間:2021-05-16 07:28  

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              半導體加工我們繼續革新技術解決方案,這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平,同時通過減輕不利于環境的排放、延長產品使用壽命并降低持續服務成本,努力協調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

              所有居于地位的制程工具 OEM,以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統,因為它們能夠滿足成熟制程與發展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統等各種系統,用來優化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。5Torr的壓力范圍下、需要超過3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的應用場合。 平版印刷平版印刷(即晶圓的圖案形成)是半導體 制程中的一個關鍵步驟。雖然傳統甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環境,但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應對這兩種應用。

              EUV 平版印刷泵送解決方案

              多重圖案形成技術有其存在的價值, 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷,因為輕型 EUV 系統 提供極短的波長。要讓您的系統具有 性能,真空環境是關鍵。3極限壓力渦旋式無油真空泵的極限壓力是指不進入氣體長期運轉,在測試罩內所能達到的穩定時的低壓力,用P。真空系統的 清潔性尤其重要,它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發了 精密真空系統,可為您進行的大型投資提供 可靠性。

              電子束平版印刷解決方案

              電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統的精密性 和長正常運行時間至關重要。

              我們的產品解決方案

              您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現超高真空。所有居于地位的制程工具OEM,以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統,因為它們能夠滿足成熟制程與發展中制程的具體要求。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。目前開發的產品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積,不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。


              愛德華70#真空泵油應用:

                 真空泵油適用于往復式增壓泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等使用,亦可用于各種擴散真空泵等。推薦用于工藝品、陶瓷、化學等領域的真空泵使用。

              供應英國愛德華19號真空泵油,質量保證規格4L /208L現貨,愛德華真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵,看真空泵型號選用油號對用,因為真空泵油粘度不一樣。



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