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工作完畢，切斷電爐電源，等爐溫降到一定溫度后，關閉擴散泵加熱電源。在抽預真空狀態下，等油增壓泵降油溫，然后關真空閥，關機械真空泵，后關冷卻水和總電源。工作結束后，應及時填寫設備使用記錄及相關文件，整理及打掃工作現場，消滅事故隱患。

真空設備操作應注意，擴散泵加熱時，主抽泵及前級閥需打開抽真空。主閥必須在前級閥打開后才能打開。主閥未關上時，爐體放氣閥不能打開。

真空設備的改造。為防比大量冷空氣進行擴散泵和增壓泵，可在抽高真空管道系統加裝一臺維持泵，實現真空閥與放氣閥之問互鎖，從而確保設備安全運行。由于管路沒有加維持泵，在抽高真空時，氣動擋板閥由于損壞或誤操作而漏氣，使冷空氣進入，冷空氣遇高溫油蒸氣，使氣體迅速膨脹發生。

萊寶螺桿泵維修時應注意檢查軸承的工作和潤滑情況。軸承和外圈的溫度應比環境溫度高15℃ ~ 20℃。溫度不應超過30℃ ~ 35℃，即軸承座外圈的實際溫度不應超過55℃~ 60℃；對于正常工作的軸承，每年應加3-4次油，每年至少清洗一次軸承，并更換所有潤滑油。若是萊寶螺桿泵維修時過程中出現異常噪音，可以拆下兩端蓋上的壓板，檢查葉輪兩端面是否磨損，排氣閥板是否正常。


真空泵維修的傳動部位磨損是普遍存在的問題，其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位，傳統方法以補焊和刷鍍噴涂為主，但兩者均存在一定弊端：補焊高溫產生的熱應力無法完全消除，易造成材質損傷，導致部件出現彎曲或斷裂；而電刷鍍受涂層厚度限制，容易剝落，且以上兩種方法都是用金屬修復金屬，無法改變“硬對硬”的配合關系，真空泵維修在各力綜合作用下，仍會造成再次磨損。當代西方國家針對以上問題多使用高分子復合材料的修復方法，而應用較多的有美國 美嘉華技術體系，其具有的粘著力，優異的抗壓強度等綜合性能。應用高分子材料修復，可免拆卸，免機加工。既無補焊熱應力影響，修復厚度也不受限制，同時產品所具有的金屬材料不具備的退讓性，可吸收設備的沖擊震動，避免再次磨損的可能，并大大延長設備部件的使用壽命，為企業節省大量的停機時間，創造巨大的經濟價值。