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發布時間:2021-10-25 08:45  
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一種低溫多晶硅制備方法及微波加熱設備.其中,該低溫多晶硅的制備方法包括:提供一基板;在所述基板的一側形成非晶硅層;進行微波加熱,將所述非晶硅層晶化為多晶硅層;其中,在所述基板的一側形成非晶硅層之前,和/或,在所述基板的一側形成非晶硅層之后以及在進行微波加熱將所述非晶硅層晶化為多晶硅層之前,還包括:形成晶化誘導膜.本發明實施例提供的低溫多晶硅制備方法和微波加熱設備,可以解決常規多晶硅退火工藝晶化均一性低,工藝難度大,產品良率低的問題,使多晶硅制備溫度有效降低,晶粒也更加均勻,同時,可以降低制備工藝難度和設備成本,獲得成本更低,品質更高且良率更高的多晶硅產品.
選擇性加熱,節能高能效果。微波對具有不同介質特性的材料有不同的影響,這對干燥和加工特性非常有利。因為水分子對微波的吸收效果很好,所以水分很高的部分吸收的微波功率很大。它僅直接加熱可以吸收微波能量的物體,而幾乎不加熱爐體和爐腔中的空氣。用微波加熱時,一般將加熱后的物料排出到金屬制的加熱容器中,加熱腔是一個封閉的無線電波腔,微波不能泄漏出去,只能被加熱物體吸收,空氣加熱腔內及相應的容器中不會加熱,因此熱效率非常高,因此高能效果,節能并改善了工作環境。
發泡用微波加熱設備,包括支撐腳,豎桿,微波發生器,電機,主動輥和間歇傳送機構,本實用新型通過在防護罩后端設置了間歇傳送機構,當模具移動至到驅動桿上端時,驅動桿將模具卡住,阻止模具的運動,接下來轉動機構轉動帶動轉盤進行轉動,使轉盤往前端推動限位齒解除對棘輪的限位,從而使磨具通過驅動桿帶動固定盤和轉桿進行轉動,使轉桿帶動棘輪進行轉動,隨著轉盤繼續轉動,上端的凸塊解除對限位齒的推動,使限位齒卡于棘輪下一個凹槽內,使驅動桿對下一個模具進行限位,達到了能夠對模具進行間歇傳送,對發泡時間進行調控的優點.