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發布時間:2021-10-20 15:02  
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正壓法氦質譜檢漏
采用正壓法檢漏時,需對被檢產品內部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣,當被檢產品表面有漏孔時,氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環境中,再采用吸槍的方式檢測被檢產品周圍大氣環境中的氦氣濃度增量,從而實現被檢產品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同,又可以將正壓法分為正壓吸槍法和正壓累積法。
氦質譜檢漏儀的檢漏方式有哪些
氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規檢漏,另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質譜管內而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。
氦質譜檢漏儀逆擴散原理
逆擴散方式檢漏允許被檢件內壓強較高,氦質譜檢漏儀可達1000Pa(一般常規檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質譜管不易受污染,燈絲壽命長等優點。
氦質譜檢漏儀的原理
氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。