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發布時間:2021-07-07 20:25  
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微型拉壓力傳感器采用S型梁結構,拉、壓均可使用,具有測量精度高、穩定性好等特點,廣泛應用于皮帶秤、料斗秤、機電結合秤、材料試驗機及工業自動化測控領域等,適用于一些要求精度高、空間小的工業稱量系統。
微型拉壓力傳感器采用全不銹鋼材質,拉壓兩用,具有良好的對稱性,適用于試驗機、吊鉤秤、焊接機、鉚釘機、拉壓力測試儀器及自動化測控領域等。
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壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件,它是基于壓阻效應工作的,所謂壓阻元件實際上就是指在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻,當它受外力作用時,其阻值由于電阻率的變化而改變,擴散電阻正常工作時需依附于彈性元件,常用的是單晶硅膜片。微型壓力傳感器是專門為流體力學實驗要求非常小的安裝尺寸而設計的,它利用硅–硅鍵合MEMS微機械加工技術使得集成硅膜片有效尺寸小,固有響應頻率高,彈性力學特性優良,穩定可靠,對流場影響小。
壓阻式壓力傳感器壓阻芯片采用周邊固定的硅杯結構,封裝在外殼內,在一塊圓形的單晶硅膜片上,布置四個擴散電阻,兩片位于受壓應力區,另外兩片位于受拉應力區,它們組成一個全橋測量電路。
硅膜片用一個圓形硅杯固定,兩邊有兩個壓力腔,一個和被測壓力相連接的高壓腔,另一個是低壓腔,接參考壓力,通常和壓大氣相通,當存在壓差時,膜片產生變形,使兩對電阻的阻值發生變化,電橋失去平衡,其輸出電壓反映膜片兩邊承受的壓差大小。
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壓力傳感器是工業實踐中常用的一種傳感器,其廣泛應用于各種工業自控環境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑等眾多行業,也是很多工程師常用到的傳感器,下面東莞市卓揚測控技術有限公司來給大家說說壓力傳感器無法避免的誤差。
1、偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差;
2、滯后誤差:在大多數情形中,壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計,一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差;
3、線性誤差:這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性;
4、靈敏度誤差:產生誤差大小與壓力成正比,如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數,如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。
單電容式壓力傳感器由圓形薄膜與固定電極構成,薄膜在壓力的作用下變形,從而改動電容器的容量,其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比而與薄膜的張力和薄膜到固定電極的距離成反比,另一種型式的固定電極取凹形球面狀,膜片為周邊固定的張緊平面,膜片可用塑料鍍金屬層的方法制成。1、偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。
這種型式適于丈量低壓,并有較高過載才能,還能夠采用帶活塞動極膜片制成丈量高壓的單電容式壓力傳感器,這種型式可減小膜片的直接受壓面積,以便采用較薄的膜片提高靈敏度,它還與各種補償和維護部以及放大電路全體封裝在一起,以便提高抗干擾才能。
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