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發(fā)布時(shí)間:2021-05-09 08:46  
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石墨舟推舟系統(tǒng):石墨舟推舟系統(tǒng)采用軟著陸的方式,即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后,石墨舟推舟機(jī)構(gòu)將退出,自動(dòng)門關(guān)上。載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計(jì),在X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向可微調(diào),再經(jīng)精加工而成。它直接影響到電場(chǎng)的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān),所以推舟系統(tǒng)是本設(shè)備的核心部件。 管式PECVD系統(tǒng):即使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室,使用電阻爐作為加熱體,將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積。

干燥裝置:主要有遠(yuǎn)紅外加熱爐、真空烘干爐、烘粉盤、粉耙、勺子、漏斗等。
檢測(cè)設(shè)備:用于粉末粒度的檢測(cè);放大三十倍的顯微鏡;金相顯微鏡;天平;粉末化學(xué)成份的檢測(cè)一般是外送當(dāng)?shù)氐纳虣z局檢測(cè)。
包裝設(shè)備:主要有篩分機(jī)、打包機(jī)、混粉機(jī)、瓶裝氮?dú)狻ⅲㄓ糜谌菀籽趸慕饘俜勰┑谋Wo(hù),一般是在放有容易氧化的金屬粉末的桶中,充入氮?dú)夂竺芊猓@樣可以在一定時(shí)間內(nèi)防止桶中的金屬氧化。)
石墨管原子吸收光譜法是依椐處于氣態(tài)的被測(cè)元素基態(tài)原子對(duì)該元素的原子共振輻射有強(qiáng)烈的吸收作用而建立的。該法具有檢出限低準(zhǔn)確度高,選擇性好,分析速度快等優(yōu)點(diǎn)。在溫度吸收光程,進(jìn)樣方式等實(shí)驗(yàn)條件固定時(shí),樣品產(chǎn)生的待測(cè)元素相基態(tài)原子對(duì)作為銳線光源的該元素的空心陰極燈所輻射的單色光產(chǎn)生吸收,其吸光度(A)與樣品中該元素的濃度(C)成正比。即A=KC 式中,K為常數(shù)。據(jù)此,通過測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)溶液及未知溶液的吸光度,又巳知標(biāo)準(zhǔn)溶液濃度,可作標(biāo)準(zhǔn)曲線,求得未知液中待測(cè)元素濃度。該法主要適用樣品中微量及痕量組分分析。