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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。通過使用加長桿，可以選擇測試半徑，以反映機器的尺寸和對特定問題的敏感度（例如，大半徑的圓更適合突出顯示機床幾何誤差，小半徑的圓則對伺服不匹配或滯后更敏感）。

應用球桿儀分析數控機床誤差

為進行誤差計算和補償，必須辨識各個獨立的誤差參數。誤差辨識可采用單向誤差直接測量法或綜合誤差測量參數辨識方法。球桿儀就是一種綜合誤差參數測量有效的工具。

微位移球桿儀一般是利用線性位移傳感器（LVDT）檢測位移變化量的，連桿長度變化范圍比較小，一般應用于測量數控機床作圓弧插補運動時的半徑變化量。而伸縮式球桿儀一般采用激光干涉儀來記錄沿連桿方向的長度變化，因而其連桿長度變化范圍要比微位移球桿儀大得多。更換測針（不同的三坐標測量機測量軟件方法不同），因為測針長度是測頭自動校驗的重要參數，如果出現(xiàn)錯誤，會造成測針的非正常碰撞，輕者碰壞測針，重則造成測頭（傳感器）損壞。