杭州阿爾卡特真空泵訂做價格合理「在線咨詢」

噴射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效應的壓力降生產的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適于在粘滯留和過渡流狀態下工作。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。這種泵又可詳細地分成以下幾種：① 液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質的噴射真空泵。② 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質的噴射真空泵。③ 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽作為工作介質的餓噴射真空泵

阿爾卡特干泵ADP/ADS系列

   ADP/ADS系列2產品的四種型號可滿足不同真空要求，環境清潔的工藝應用可選擇LM型，輕型或中型應用要求可選擇P型，H型可供苛刻要求的工藝環境選擇。制作過流部件非金屬材料應選用不與藥液發生化學反應，能與輸送介質共存，且長期工作無釋出物的材料。許多來自半導體工業的主要制造商已經選擇這一產品，這一選擇使他們大大縮短了計劃外停l工期，從而節約了運行成本，提高了利潤率。

特點：

處理能力可靠性高寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒精l確而閉合的溫控系統、高操作溫度以及從進口到出口的氣體溫度的線性增長各級采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集

旋片真空泵旋片真空泵主要由泵體（靜子）和轉子組成。在轉子槽中裝有兩塊以上的旋片，有些泵旋片間還裝有彈簧。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速。轉子偏心地裝在泵腔內，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉子旋轉時，在離心力等作用下,旋片沿槽作往復滑動并與泵腔內壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個或幾個可變容積的工作室。轉子順時針方向旋轉時,與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時,與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時，推開排氣閥排出大氣。轉子連續轉動，泵便不斷抽氣。