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正壓法氦質(zhì)譜檢漏

采用正壓法檢漏時(shí)，需對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個(gè)大氣壓力的氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通孔漏孔進(jìn)入被檢外表面的周?chē)髿猸h(huán)境中，再采用吸槍的方式檢測(cè)被檢產(chǎn)品周?chē)髿猸h(huán)境中的氦氣濃度增量，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測(cè)量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸槍法和正壓累積法。其中正壓吸槍法采用檢漏儀吸槍對(duì)被檢產(chǎn)品外表面進(jìn)行掃描探查，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的; 正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái)，采用檢漏儀吸槍測(cè)量一定時(shí)間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量，實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。86×10-5Pa·s，1L液氦氣化為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氦氣體積為700L。

正壓法的優(yōu)點(diǎn)是不需要輔助的真空系統(tǒng)，可以，實(shí)現(xiàn)任何工作壓力下的檢測(cè)。

正壓法的缺點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度較低，檢測(cè)結(jié)果不確定度大，受測(cè)量環(huán)境條件影響大。

正壓法的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3089-1999《氦質(zhì)譜正壓檢漏方法》、QJ2862-1996《壓力容器焊縫氦質(zhì)譜吸槍罩盒檢漏試驗(yàn)方法》，主要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門(mén)檢漏儀等。

氦氣檢漏是怎樣操作呢？

任何儀器在制作過(guò)程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況，某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒(méi)有太大關(guān)系，但是在半導(dǎo)體器件、集成電路等重要電氣設(shè)備及儀器中，良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要！真空壓力法的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)有GB/T15823-2009《氦泄漏檢驗(yàn)》，主要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進(jìn)劑貯箱、天線、應(yīng)答機(jī)、整星產(chǎn)品等。市面上有各種檢漏儀器，常見(jiàn)的載氣有氮?dú)狻錃狻⒑獾取：鈾z漏大家想必都聽(tīng)說(shuō)過(guò)，那么氦氣檢漏是怎樣的呢？氦氣檢漏是如何操作的呢？

在設(shè)備和廠房當(dāng)中，常常有一些管道等連接的部位，這些地方的封接處可能存在肉眼難以察覺(jué)的細(xì)小孔洞，在使用時(shí)如果不注意就會(huì)導(dǎo)致泄露，從而造成事故。在這 些地方氦氣怎么檢漏？真空壓力法的缺點(diǎn)是檢漏系統(tǒng)復(fù)雜，需要根據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計(jì)真空密封室。利用氦氣是比氫氣小的第二輕的惰性氣體，氦氣在自然狀態(tài)下會(huì)向上垂直擴(kuò)散，在被檢測(cè)的管道中注入氦氣。如果這些設(shè)備有漏點(diǎn)，那么我們就能通過(guò)監(jiān)測(cè)儀器探測(cè)到有氦氣在管道外部。這就是管道中氦氣檢漏的方法。

對(duì)于一些的細(xì)小電子元件，氦氣怎么檢漏呢？正壓法的優(yōu)點(diǎn)是不需要輔助的真空系統(tǒng)，可以，實(shí)現(xiàn)任何工作壓力下的檢測(cè)。將要檢測(cè)的元件放入充滿氦氣的容器中并且加壓。在壓力的作用下，如果這些元件存在漏點(diǎn)，必然會(huì)有氦氣通過(guò) 這些小孔進(jìn)入到元件內(nèi)部。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后，再利用質(zhì)譜儀檢測(cè)元件表面泄露的氦氣。看到這里大家得注意，氦氣的價(jià)格不菲，進(jìn)行一次氦氣檢漏的費(fèi)用自然不低。

氦氣怎么檢漏，氦氣檢漏就是利用了氦氣分子小能夠輕易進(jìn)入那些不被肉眼察覺(jué)的孔縫中，利用監(jiān)測(cè)儀器就能探測(cè)到孔縫中泄露出的氦氣。檢測(cè)時(shí)首先探測(cè)到氦氣的 ，得到氦氣的水含量，再利用色譜儀計(jì)算出氫氣、氧氣、C02氣體等雜質(zhì)。氦檢漏有兩種工藝，一種是背壓法，另一種則是真空箱法。縱然所有連接件是完全密閉的，但在連接或拆卸的過(guò)程中難免會(huì)釋放少量的檢漏氣體。

氦氣漏檢測(cè)試

真空測(cè)試(由外向內(nèi))

氦氣生產(chǎn)廠家表示，在真空測(cè)試中，對(duì)于較大的體積，用單獨(dú)的泵系統(tǒng)對(duì)器件進(jìn)行抽真空，對(duì)于較小的體積，則在檢測(cè)器內(nèi)部進(jìn)行抽真空。找到漏洞使用流量可調(diào)的噴霧探針將氦氣注入零件的泄漏部位。

壓力測(cè)試(由內(nèi)向外)

在壓力測(cè)試中，零件用氦氣或氦氣和空氣的混合物加壓。找到漏洞使用連接到檢漏儀入口的嗅探器探針掃描零件的潛在泄漏點(diǎn)。