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              重慶電子束鍍膜機報價值得信賴【沈陽鵬程】

              發布時間:2020-12-08 14:19  

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              電子束蒸發鍍膜機的用途

              電子束蒸發沉積鍍膜設備,具有有機材料沉積和金屬材料沉積成膜功能。它是在高真空條件下,通過加熱材料的方法,在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜,在襯底上沉積各種金屬或合金電極并形成器件。期望大家在選購電子束產品時多一份細心,少一份浮躁,不要錯過細節疑問。可用于鍍半導體、金屬膜,氧化物、納米級單層及多層功能膜的連續沉積.

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              電子束蒸發鍍膜機設備性能介紹

              沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業生產、銷售電子束產品,我們公司堅持用戶為上帝,想用戶之所想,急用戶之所急,以誠為本,講求信譽,以產品求發展,以質量求生存,我們熱誠地歡迎各位同仁合作共創輝煌。

              設備性能技術指標:

              1、設備極限真空度:5×10-5Pa(電子槍靜止狀態)。

              2、設備總體漏放率:關機12小時后,真空度≤8Pa。

              3、從大氣到抽到≤9×10-4Pa,40min(新設備充干燥氮氣),提高了工作效率。

              4、真空漏率:≤10-7Pa.l/s



              電子束鍍膜機介紹

              * 帶旋轉的傾斜沉積

              * 行星式基片夾具

              * 基片RF/DC偏壓

              * 基片清洗的離子源以及離子輔助蒸鍍

              * 附加物理沉積源(熱蒸鍍,磁控濺射)

              * 用于反應蒸鍍的MFC

              * 不同的泵組選擇,可升級分子泵為冷泵,前級泵為干泵

              * 進樣室和自動上下片/可支持單片和25片片夾

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