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發布時間:2021-04-25 17:11  
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真空腔體常用的清洗方法
1、放電清洗
放電清洗一般用于高真空、超高真空腔體清洗中.放電清洗的效果取決于電機材料、幾何形狀及其與表面的關系.利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳氫化合物的去除.
2、氮氣清洗
氮氣清洗主要是利用了氮氣在材料表面的吸附熱小、吸留時間短,容易被抽走的特性,用氮氣沖洗被污染的真空系統,同時擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間,縮短真空系統的抽氣時間.
影響真空絕緣水平的主要因素
電極的幾許形狀
電極的幾許形狀對電場的分布有很大的影響,往往因為幾許形狀不行恰當,引起電場在部分過于集中而導致擊穿,這一點在高電壓的真空產品中特別杰出。
電極邊際的曲率半徑大小是重要因素。一般來說,曲率半徑大的電極接受擊穿電壓的能力比曲率半徑小的大。
此外,擊穿電壓還和電極面積的大小成反比,即跟著電極面積的增大而有所下降。面積增大導致耐壓下降的原因主要是放電概率添加。
真空腔體制造技術
基板指的是一個大的法蘭適配器,可以把一個位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵?;逋ǔS幸粋€位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置,可連接到真空抽氣系統。
脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結構,一般帶有鉸鏈接口,可連接不需要高真空環境的其他裝置,如塑料樣品、血液、粘合劑、化學制品或其他液體的除氣設備。
輔助井用于連接抽氣系統和鐘形罩。
基地井整合了基板和真空密封頸,用焊接接頭取代一個真空密封件,可以同時實現基板和密封設備兩個部件的功能。
鐘形罩由圓柱形的主體和一個半球形或球形的端口組成??蛇x材料包括玻璃、金屬和塑料。標準鐘形罩的直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。