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發布時間:2021-10-24 03:11  
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流量控制器基本原理
通過測量氣體流經流量器內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準確的零點標定,質量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表,零點的漂移對測量結果有影響,長期使用時一定要定期進行標定。當氣體流速增加,冷卻效應越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量,即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。
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流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?
質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程, 在工作的過程當中, 控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關閉時流量不能小于2%F.S。脈動引起的測量誤差通常使儀表輸出偏高,其程度取決于脈動幅值和頻率。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩定。
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流量控制器
對多數用戶而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量(如g/min),這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數, 可以方便地查到,因而簡單地做一個乘法(以密度乘以若干slm)即可實現。由于變送器是以單片機為核心的智能儀表,因此可根據上述三個基本量而導出十幾種參數供用戶使用。所以說,在標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。
一定要按實際使用氣體標定顯示嗎?
不一定。按實際實際使用氣體標定顯示,顯示的是實際氣體的流量, 比較直觀。但在很多的實際應用場合,只需要找到一個合適的流量參數并保證測量和控制的重復性,至于該氣體的實際質量流量是多少,用戶并不是特別關心。在這種情況下,您直接使用廠家的標準出廠產品(氮氣標定顯示)也可以。2)浸入式帶測量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前置直管段,ISO/DIS14511對此未作具體規定,而按制造廠建議的值。當然,如前面所提到的,您在選定流量規格時,需要換算一下,以選擇合適的量程。對于某些用戶,同一個產品有時可能會通不同的氣體,這種情況下,直接使用氮氣標定出廠的產品更方便。