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發布時間:2020-09-15 07:56  
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在實際施工中,凈化項目通常分為專業,分工和分時。 這種安排有利于各種專業和工作類型的管理。 但是,易于進行多塵和無塵的交叉操作,應盡可能避免這種結構布置。 如果不可避免,應該防止灰塵和有效清潔。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
凈化工程的一步的關鍵是設計,工程設計水平的好與壞將直接關系到整個工程之后的施工,還會影響凈化工程今后的穩定性、可靠性、經濟性。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。
