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發(fā)布時(shí)間:2021-07-01 07:11  
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退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以摻雜劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。
物料的干燥速率取決于表面汽化速率和內(nèi)部濕分的擴(kuò)散速率。通常干燥前期的干燥速率受表面汽化速率控制;而后,只要干燥的外部條件不變,物料的干燥速率和表面溫度即保持穩(wěn)定,這個(gè)階段稱為恒速干燥階段;當(dāng)物料濕含量降低到某一程度,內(nèi)部濕分向表面的擴(kuò)散速率降低,并小于表面汽化速率時(shí),干燥速率即主要由內(nèi)部擴(kuò)散速率決定,并隨濕含量的降低而不斷降低,這個(gè)階段稱為降速干燥階段。
熱風(fēng)隧道烘箱的結(jié)構(gòu):
熱風(fēng)隧道烘箱是一種連續(xù)干燥設(shè)備,可以連續(xù)烘烤,提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。兩側(cè)均配有鏈傳動(dòng),解決運(yùn)輸過程中的跑偏現(xiàn)象。烤箱是分段加熱的,由獨(dú)立的電箱控制,操作簡(jiǎn)單。結(jié)構(gòu)主要由輸送系統(tǒng)和干燥爐組成。多級(jí)獨(dú)立PID溫度控制,爐內(nèi)溫度均勻。輸送速度采用變頻調(diào)速,可自由調(diào)節(jié),運(yùn)行平穩(wěn),生產(chǎn)。