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發布時間:2021-08-03 16:08  
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真空腔體除塵過濾方式及過濾裝置大家了解多少呢?
有些真空工藝會產生大量的塵土,如果塵土隨被抽氣體進入油封真空泵內混在泵油中,會像研磨劑一樣加速泵腔內零件的磨損,對泵轉子和泵腔造成磨損和損壞,堵塞油路或使泵無法運轉,如果塵土進入真空閥門則會使密封失效而泄漏,因此塵土的規避和過濾己成為增加真空腔體的使用壽命,增加生產率的關鍵問題,在有塵土的真空系統中,要采用塵土過濾器。超高真空腔體的弧焊接,原則上必須采用內焊,即焊接面是在真空一側,以免存在死角而發生虛漏。
在塵土量較少時,可以由泵油過濾系統濾除,但塵土量較大時,為不讓真空泵損壞,讓真空泵的正常運轉要使用除塵器。真空腔體加工廠家解釋說常用塵土過濾方法有以下幾種:
(1)旋風離心式。進氣口與筒體成偏疼放置,塵土隨氣流旋轉,因離心力效果而沉降在過濾器的底部。
(2)油淋式。在油泵的效果下,使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下,油霧與上升的氣流相互效果吸附,混在氣流中的塵土與油一同沉降至油池。
(3)油濕介質粘附式。塵土在氣流效果下磕碰用真空泵油浸濕的介質外表而被粘附,常用介質有環狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。
(4)介質阻撓式。使用介質的機械阻撓效果過濾塵土,常用介質有金屬絲網、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。
(5)靜電吸附式。使用真空中氣輝光放電構成等離子體,塵土在等離子體中附著電荷,在電場力效果下被驅向電極外表而集。
(6)混合式。將以上幾種過濾形式進行組合構成混合的過濾形式。
影響真空絕緣水平的主要因素
電極的幾許形狀
電極的幾許形狀對電場的分布有很大的影響,往往因為幾許形狀不行恰當,引起電場在部分過于集中而導致擊穿,這一點在高電壓的真空產品中特別杰出。
電極邊際的曲率半徑大小是重要因素。一般來說,曲率半徑大的電極接受擊穿電壓的能力比曲率半徑小的大。
此外,擊穿電壓還和電極面積的大小成反比,即跟著電極面積的增大而有所下降。面積增大導致耐壓下降的原因主要是放電概率添加。
真空腔體制造技術
提供專用設備腔的定制服務,腔體的外形和開口可以根據用戶要求進行設計。
表面分析腔有通用腔體,用戶也可以在通用腔體的基礎上進行自定義設計。
手套箱和焊接箱專用于熔煉或焊接鈦、鋅等對易在大氣中氧化的材料。
真空密封頸是基板和鐘形罩之間的過渡組件,它可以提供額外的高度和更多的自由端口。
裝載鎖定室是建在主腔體上的小腔體,可在不破壞主腔體真空度的條件下,將樣本、晶片或其他組件從外部大氣環境移動到內部高真空環境中。
真空腔體可以按照真空度進行分類,包括粗或低真空度(< 760, > 1 torr),中真空度(< 1, >10-3 torr),高真空度(< 10-3, >10-8 torr),超高真空度(< 10-8 torr),以及非真空的高壓力 (> 760 torr)。半導體真空腔體制造技術真空腔體在薄膜涂層、微電子、光學器件和材料制造中,是一種能適應高真空環境的特殊容器。真空腔的寬度和外徑等常規尺寸是非常重要的參數。標準鐘形罩或柱形腔體的可選直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。
真空腔體或者真空組件的可選項包括法蘭、裝配形式、表面拋光或電拋光、開口或傳導口,加熱器和冷卻方式等。
Ferrotec在真空中制造中的解決方案
使用磁流體密封件作為在旋轉過程中真空解決方案。磁流體密封件可以隔絕大氣和污染物。
制備的石英用來制造視口及配件等組件,石英在許多其他加工工藝中也有使用。
真空鍍膜可選Ferrotec的PVD電子束蒸發系統。
如需了解更多真空環境下的制造信息,請參考真空工業界的資料。
復雜的真空腔體通常需要定制,即針對應用終端進行專門的設計和制作。一些帶有牢固附著物或污染較為嚴重的基片在擦洗或超聲波清洗后,用蒸汽脫脂清洗可以實現很好的清洗效果。某些常見的真空腔體已經過預先設計,如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環境,可用于焊接,或用于塑料制品、復合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。