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氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

隨著科技的迅猛發展，氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業，綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發現，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統組件和電子學控制元件三大部分組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。

離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產品。其工作原理是在高壓輸出中如遇雷擊，氧化鋅片電阻變小，大電流對地短路，輸電線路被保護。

機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

氦質譜檢漏常見問題

氦質譜檢漏儀是現在比較常用的檢測儀器，那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢？今天科儀創新的小編就和大家來一起總結一下！

一、為什么用氦氣作為示蹤氣體？其他氣體可以嗎？（1）在空氣中含量低(只有5 ppm)，環境本底低

（2）惰性氣體不易1燃，不易1爆對環境沒有污染，不與其他物質反應，可以混合到任意濃度

（3）無毒，可以用在食品工業

（4）在質譜儀譜圖中易于與其他物質區分

（5）比空氣輕，運動速度快

（6）氣體分子很小，可以穿過微小的泄漏孔

（7）其它氣體也可以

二、噴氦檢漏的注意事項。

（1）被測系統應盡量清潔，干燥，無油

（2）如果測量條件發生變化（溫度），需要重新對檢漏儀做內部較準

（3）氦氣比空氣輕，噴氦法檢漏應注意方向

（4）盡量不要使用密封脂（油脂會大量吸附氦氣）

（5）不要向環境釋放大量氦氣

（6）真實的漏率信號應當是快速上升的信號，相對緩慢下降的信號

三、漏率（leak rate）

在已知漏泄處兩側壓差的情況下，單位時間內流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。

注：采用國際單位制時，漏率單位為：Pa?m3/s。

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氦質譜檢漏儀的工作原理

今天科儀創新的小編和大家分享的是氦質譜檢漏儀的工作原理，希望對您有所幫助！

氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據不同種類氣體離子質荷比不同的特點，利用磁偏轉分離原理將其區分開來。儀器對其示漏氣體氦氣有響應信號，而對其他氣體沒有響應，從而檢漏。79J/(m·h·K)，在標準狀態下的定壓比熱為5233J/(kg·K)，在標準狀態下的動力粘度系數為1。

什么是氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀品牌淺析什么是氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀可靠的品質保證廣泛的市場應用，此款氦質譜檢漏儀適用于工業、分析研究、鍍膜市場等。此款氦質譜檢漏儀堅固耐用，抗震性能極強，可反復使用數年仍保證的檢漏漏率。氦質譜檢漏儀緊湊的設計適合串列生產和持續工作。方法二:將標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環境溫度下，用標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值。氦質譜檢漏儀主要特點：前級泵配備抽速高達15 m3/h 旋片泵，對氦氣抽速可達 2.5l/s，氦質譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的蕞小檢測漏率：

真空模式：5 · 10-13 Pa m3/s

吸槍的模式：5 · 10-10 Pa m3/s

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