惠州羅茨真空泵公司電廠真空系統「多圖」

真空設備制造商“株式會社ULVAC（愛發科）”在中國投資興建的全資公司，于2003年7月在工業園區設立，總投資10,350萬美元，注冊資本3450萬美元，占地面積七萬多平方米。4、愛發科真空泵油，愛發科VDN系列專用油具較底的蒸汽壓，防止油品從泵的內腔向真空系統返流擴散造成返油。主要為半導體功率器件、集成電路、電力電子、LED等行業提供芯片生產及研發的相關真空設備，同時提供設備及周邊產品的售后服務。工廠于2011年再度擴建，從2012年年初開始，為平板顯示器，太陽電池等制造行業提供先進設備。

     公司由日本總部提供雄厚的技術支持，既擁有與日本總部同等的技術資源，又擁有國內設備供應商在價格、交貨期、售后服務等方面的綜合優勢，受到廣大客戶的一致好評和厚愛。

真空泵維修廠家溫馨提醒您應該定期檢修維護真空泵設備：

泵油隨著泵的運轉惡劣，因而需要通過油視窗查明的污濁程度及粘度情況，并及時替換泵油。替換泵油的周期：每六個月換油清洗一次。泵油替換步驟如下：

A、打開泵的吸氣管，5秒后使其開始運行。泵內剩下的泵油容易被排除。

B、先拆下排氣管，在打開放油閥，然后倒出泵油

C、關閉排油閥，把新的真空泵油從加油口注入

D、如果泵油的污染非常嚴重，必須添加些新泵油，通過幾分鐘運轉使其得到清洗，假如一遍清洗不到位，必須反復多清洗幾遍

E、換上新泵油后，讓泵開機運行，等溫度升高以后在確認真空極限壓力

F、檢修過程需清洗過濾網

真空泵的選擇及抽速計算

(1)計算真空泵的有效抽速S (L/s)。

根據真空系統要求的工作壓力pg、真空系統的總氣體量Q，計算泵的有效抽速

S=Q/pg

式中，Q為真空系統的總氣體量，Pa. L/s,包括真空系統工作過程中產生的氣體量、真空系統及真空元件的放氣量和真空系統的總漏氣量。

通常將按此式計算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作為主泵的名義抽速。

(2)確定真空泵的抽速。

根據有效抽速S以及泵與真空室之間的連接管道的流導U確定主泵的抽速Sp。由流導串聯公式有

1/S=1/Sp 1/U

(3)根據被抽氣體種類、成分、溫度以及氣體含灰塵雜質情況選真空泵 。

(4)根據真空室對油污染要求的不同,來選擇有油、無油、半無油、干式、濕式真空泵。干式真空泵適合于要求絕dui無油或工作液、或對工作液儲存和處理費用比較關切等場合。

(5)根據投資及日常維護運轉的經濟指標來選擇。

03、前級泵的配置及抽速確定

主真空泵選定之后,如何配置前級泵，需遵守的原則是：

① 求前級泵造成主真空泵工作所需的預真空條件;

② 抽走主真空泵產生的z大氣體量;

③ 必須滿足主真空泵進氣口能工作的z大壓力時所需的預抽時間要求。