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發布時間:2021-04-10 17:28  
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無塵車間怎么設置壓差才能防止污染
無塵車間怎樣設置壓差才能防止污染: 無塵車間想要獲得良好的潔凈效果,不僅要著重采取合理的空調凈化措施,而且也要求工藝,建筑及其他專業采取相應的措施,不但要有合理的凈
無塵車間想要獲得良好的潔凈效果,不僅要著重采取合理的空調凈化措施,而且也要求工藝,建筑及其他專業采取相應的措施,不但要有合理的凈化工程設計,而且還要精心的箱合規范的無塵車間施工安裝,以及正確的使用無塵車間和科學的維護管理。
另外防止從相鄰的潔凈度較低區域向無塵車間傳播污染的主要方法是:維持高潔凈度區域相對于服務區域,服務區域相對于室外有一個合適的正壓值,根據不同的情況,不同級別相鄰房間的正壓差約為5-10PA。讓不同潔凈度的各級房間維持梯次的壓差,目的是當房間門處于關閉情況時,通過縫隙的氣流流向是由高1級別無塵室流向低級別無塵車間、由低級別無塵車間流向走廊和服務區,再流向室外,這樣就可減少由室外向服務區域、服務區域向低級別無塵車間,低級別無塵車間向高1級別無塵車間傳播空氣中的懸浮污染物。⑵臭氧殺菌凈化臭氧的應用在近幾年來越來越廣泛,因為臭氧本身的氧化性強,可以在短時間內破壞細1菌、病毒和其他微生物的生物結構,達到殺菌祛味的作用。
光學微電子凈化工程結構材料
1、凈化廠房墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強,圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環氧自流坪地坪或高1級耐磨塑
3、送回風管道用熱鍍鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4、高1效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
?潔凈室中的溫濕度控制
濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。慣性除塵器主要用于捕集20~30μm以上的粗大塵粒,常用作凈化工程中多級除塵器的di一級除塵。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產jia溫度范圍為35—45%。
?潔凈室中的氣壓規定
對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。