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流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。節省費用這里所說的費用除了儀表購置費之外，還應計入附件購置費、安裝調試費、運行費、備品備件費、維護和定期校準(檢定)費，而質量流量控制器的平均壽命攤入的折舊費也不是可忽視的。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。應用于高壓氣體時流量傳感器則寧可選擇水平安裝，因為這樣便于做到調零的零偏置。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;  三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。

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質量流量計工作原理

質量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、穩定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用，相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質量流量控制器，是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。國際標草案ISO/DIS11451認為流量測量不受旋轉流和流速場剖面畸變影響。質量流量控制器本身除了測量部分，還帶有-個電磁調節閥或者壓電閥，這樣質量流量控制本身構成-個閉環系統，用于控制流體的質量流量。質量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流，或者計算機、PLC 提供。

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流量控制器

選擇產品和訂貨時應當注意

注意選擇合適的響應時間指標

有的應用系統對MFC的響應時間有較高的要求，用戶應根據自己的情況加以考慮。在考慮響應時間指標的同時，還應注意其響應過程及動態特性。

注意對安裝位置有無要求

有的廠家的產品要求必須水平位置安裝。

注意使用氣體和適用范圍

MFM/MFC 對使用的環境及介質溫度﹑氣源壓力﹑介質（特別是使用對腐蝕性氣體）情況等均有一定適用范圍，請注意閱讀說明書或向廠家咨詢。

注意接頭形式

通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于應用。

訂貨應注明：

產品名稱、型號、流量規格、標定氣體、使用氣體（特別是腐蝕性氣體）、接頭形式和數量。

怎樣選擇流量顯示單位？

我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位，即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據用戶的要求設定。按百分比顯示的方式，即是將 MFM / MFC 的流量測量值按其占滿量程的百分比來顯示，例如，規格為50SCCM的MFM/MFC，當顯示值為80%時，實際的流量為40SCCM。②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準確的零點標定，質量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表，零點的漂移對測量結果有影響，長期使用時一定要定期進行標定。對任何一種規格的MFM/MFC，滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好，可配不同量程的MFM/MFC，但不直觀，有的用戶不習慣。

按 SCCM或 SLM顯示，出廠時對流量顯示的范圍與相應的MFM/MFC的量程進行匹配，使用時顯示值即是流量值，很直觀，符合習慣，為多數用戶所采用。 匹配好后，原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用，只是顯示值需要修正。