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質量流量控制器原理

質量流量控制器是利用熱傳導原理測量流體流量的儀表,質量流量控制器采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。3、熱式氣體質量流量計熱探頭向周圍的輻射換熱03熱探頭表面溫度為，它要向氣流和另一個探頭進行輻射換熱。質量流量控制器具有體積小,數(shù)字化程度高,安裝方便,測雖確等優(yōu)點。質量流量控制器可用于玻璃、太陽能、大氣監(jiān)測、工業(yè)制作、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環(huán)保等各種工業(yè)企業(yè)的氣體管路分配控制、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣等氣體的質量流量或實際工況的體積流量測量和監(jiān)控。

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流量控制器的控制響應速度

物理時間常數(shù)

物理時間常數(shù)用希臘字母Tau來表示，是現(xiàn)今為數(shù)不多的用來描述響應時間的標準之一，即：控制器到達設定值某個百分比所需要的時間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對數(shù)底數(shù)的無理數(shù)，其值為2.72，所以1-1/e即為設定值的63.2%。如果不特殊聲明,MFC都采用氟橡膠密封,可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體,例如可以用于鹵族干燥氣體。雖然該定義是一個物理標準，可能說明不了什么問題，因為余下的設定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。從下面示波器截圖中可以看到：ALICAT?質量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達了設定值的63.2%。

任意設定值百分比變化區(qū)域

不少質量流量控制器的技術參數(shù)采用設定值某一百分比區(qū)間內的變化來定義設備響應速度，比如：從設定值的10%到達90%所需要的時間。隨著自動化水平的提高，許多生產過程都對流量測量提出了新的要求。由于和后的 10%控制響應曲線變化，由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。如下圖所示，ALICAT?質量流量控制器用了11.4毫秒到達設定值， 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言，如果按照從設定值10%到達90%所用的時間來定義設備響應速度的話，那么結論是6~7毫秒。

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如何提高流量控制器的準確度？

提高氣體質量流量控制器實用準確度的措施為：

1.針對氣體質量流量控制器的實際工藝參數(shù)，對該流量計進行“個性化標準”，從而實現(xiàn)在實際使用流量點的一定范圍內，該氣體質量流量控制器的實際測量誤差(與標準值的差)趨于零。

2.把好氣體質量流量控制器的安裝環(huán)節(jié)，減少或消除機械應力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。

3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質量流量控制器測量準確度的影響。

4.把好氣體質量流量控制器的投用關。

流量控制器

越來越多的朋友對氣體質量流量計﹑質量流量控制器產生了濃厚的興趣。

質量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。