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種形式在小規模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為很主要的凈化設計方案。

不產生：不在潔凈車間產生任何灰塵。

　　遵循這個原則，潔凈車間設計時，應注意如下幾個方面：

　　1、 不采用易產塵、易吸附塵土的地面、四壁、天花板的裝飾材料。

　　2、不使用容易產生灰塵的材料與設備。

　　3、 在許多的潔凈車間內，人都是很大的污染源。嚴格潔凈車間的管理，控制人員數量，避免不必要的移動，人員應穿潔凈服。

云南恒云凈化工程有限公司是一家空氣凈化空調設備安裝專業公司。

工程的規劃首先要加強對設計單位設計凈化工程圖紙質量的外部監督與審查。充分發揮潔凈室圖紙審查中心的職能作用，像工程質監站監督施工質量一樣，審查、監督設計質量。潔凈工程圖紙的質量高低是關系到此潔凈工程的建造成本控制等一系列凈化工程重要控制目標能否達成之物。制訂設計獎懲制度。搭接處的縫隙有別于固定縫隙，因活動扇需要開啟而木能采取“一勞永逸”的封固措施。設計圖紙被審查中心確認為設計的應給設計單位以特殊榮譽，對設計人員實施獎勵。

百級潔凈室規劃裝修參數規范：

　　1. 潔凈度：粒徑≥0.1微米的塵土粒子數量需求小于100個。

　　2. 壓差及溫濕度：溫度22℃±2;濕度55%±5;根本房間要滿布ffu，做高架地板。做MAU ffu DC系統。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度確保在10pa左右。

　　3. 照度：由于無塵潔凈室的工作內容大多有精細的要求，而且又都是密閉性房子，所以，對照明一向有很高的要求。