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發布時間:2021-10-12 02:00  
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派瑞林涂層是化學氣相沉積法,是反應物質在氣態條件下發生空間氣相化學反應,在固態基體表面直接生成固態物質,進而在基材表面形成涂層的一種工藝技術。派瑞林薄膜制備過程分為三步:單體的汽化、裂解、在基材表面進行附著沉積。
紫外線照射的薄膜與未曝光的薄膜之間的故障時間之間的巨大差異為聚對二C和N的正確使用條件提供了重要的認識。聚對二D,C,N,AF4的化學結構定義了由于紫外線引起的降解接觸。聚對二N是未取代的烴分子,聚對二C每個重復單元具有一個加氯基,聚對二D每個重復單元具有兩個加氯基。相比之下,聚對二AF4用氟原子取代了化學品苯環上的氫原子,從而大大增強了其紫外線穩定性。
原子層沉積是在一個加熱反應器中的襯底上連續引入至少兩種氣相前驅體物種,化學吸附的過程直至表面飽和時就自動終止,適當的過程溫度阻礙了分子在表面的物理吸附。
目前可以沉積的材料包括:氧化物,氮化物,氟化物,金屬,碳化物,復合結構,硫化物,納米薄層等。 中空納米管,隧道勢壘層,光電電池性能的提高,納米孔道尺寸的控制,高高寬比納米圖形,微機電系統(MEMS)的反靜態阻力涂層和疏水涂層的種子層,納米晶體,ZnSe涂層,納米結構,中空納米碗,存儲硅點涂層,納米顆粒的涂層,納米孔內部的涂層,納米線的涂層。