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發(fā)布時間:2020-12-14 08:54  
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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機組。
水環(huán)式真空泵的缺點
1)效率低,一般在30%左右,較好的可達50%.
2)真空度低,這不僅是因為受到結(jié)構(gòu)上的限制,更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。
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有效稀釋有害氣體的濃度:
半導體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì),在與空氣或氧接觸的時候,會引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導體真空泵在抽取這些介質(zhì)時,需要用氮氣之類的惰性氣體,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍。
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加壓條件下容器漏率的測定
在加壓條件下測童容器漏率的方法有:氣泡法、超聲法、氣敏半導體檢漏儀法、氨檢漏法、鹵素檢漏儀法、氮質(zhì)譜檢漏儀法等。
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合適的粘度和良好的粘溫特性:水環(huán)式真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用,要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。
低蒸氣壓:這是真空潤滑喲的重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蠟基窄餾分潤滑油,對于擴散空泵,還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
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