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發布時間:2021-05-01 08:46  
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真空腔體
真空腔體是內部為真空狀態的容器,很多先進的技術工藝均需要在真空或惰性氣體保護條件下完成,真空腔體是這些工藝過程中重要的基礎設備.
根據真空度國標真空被分為低真空(100000-100Pa),中真空(100-0.1Pa),高真空(0.1-10-5Pa),超高真空(10-5-10Pa)。真空腔體常用的清洗方法1、超聲波清洗超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而達到清洗目的。低真空主要應用于隔熱及絕緣、金屬熔煉脫氣、無氧化加熱、真空冷凍及干燥和低壓風洞等;高真空主要應用于真空冶金、真空鍍膜設備等領域;超高真空則偏向物理實驗方向。
真空腔體的加熱方式分為內加熱和外加熱兩種,外加熱是在腔體外部加熱,依靠腔體壁將熱量傳導進來,通過熱輻射傳遞熱量;內加熱是直接在真空腔體內部進行加熱,相比內加熱方式,外加熱有滯后性,且內加熱方式的控溫精度相對于外加熱來說更,所以一般情況下我們會選擇內加熱方式.
加熱器的選擇也非常重要,一般選用安裝方便的扣板式加熱板進行內加熱.扣板式加熱板的表面是鏡面的不銹鋼板,在平整度上比直接由真空腔體壁拋光更有優勢,更利于進行熱輻射傳導熱量.
真空腔體加工的注意事項
焊接是真空腔體制作中的環節之一。通常采用弧焊來完成焊接,可避免大氣中熔化的金屬和氧氣發生化學反應而影響焊接質量,弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氣,以防止熔化后的高溫金屬發生氧化反應。
超高真空腔體的弧焊接,原則上必須采用內焊,即焊接面是在真空一側,以免存在死角而發生虛漏。真空腔體不允許內外雙重焊接和雙重密封
個大氣壓在1cm2的面積上產生約1kgf的壓力,對直徑20cm的法蘭來講,就是1t的壓力。圓筒或球形的腔體,由于構造的特殊性使得壓力分散,腔體的壁厚2~4mm就不會變形。
但是,對于方形腔體,側面的平板上要承受上噸的壓力,必須通過增加壁厚或設置加強筋,才能防止變形。
影響真空絕緣水平的主要因素
真空度
顯現了空隙擊穿電壓和氣體壓強之間的關系。由圖可以看到真空度高于10-2Pa時,擊穿電壓基本上不再跟著氣體壓力的下降而增大,因為氣體分子碰撞游離現象已不復興效果。經過試驗論證,采取在真空腔體內正上方、正下方、左側面、右側面各安裝一套加熱板加熱的方法,采用面對面熱輻射方式對腔體內部進行加熱。當氣體壓力從10-2Pa逐步升高時(真空度下降),擊穿強度逐步下降,以后又隨氣壓的而。從曲線上可以看出真空度高于10-2Pa時其耐壓強度基本上堅持不變。這就標明,真空滅弧室的真空度在10-2Pa以上時完全可以滿足正常的運用需求。