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發(fā)布時間:2020-11-02 11:51  
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FE3000反射式膜厚量測儀:原理為:利用單色儀和氙燈的組合可實現(xiàn)任意波段的激發(fā)光并以此來照射熒光材料樣品,再以光譜儀對產(chǎn)生的發(fā)光光譜進行測試并對其熒光材料特性做出評價。本系統(tǒng)采用了具有高靈敏度、高穩(wěn)定的本公司的光譜儀對光譜進行測量。
應用范圍■ FPD
?LCD、TFT、OLED(有機EL)
■ 半導體、復合半導體
?矽半導體、半導體雷射、強誘電、介電常數(shù)材料
■ 資料儲存
?DVD、磁頭薄膜、磁性材料
■ 光學材料
?濾光片、抗反射膜
■ 平面顯示器
?液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED
■ 薄膜
?AR膜
■ 其它
?建筑用材料
FE3000反射式膜厚量測儀:主要測試項目:量子效率測定,量子效率的激發(fā)波長依賴特性,發(fā)光光譜、反射光譜測定,透過、吸收光譜測量,PL激發(fā)光譜,顏色演算(色度、色溫、演色性等)利用二次激發(fā)熒光校正功能去除再激發(fā)熒光發(fā)光。
解析非線性i小二乘法/波峰波谷解析法/FFT解析法/適化法
基板解析/里面反射補正/各類nk解析模型式
絕i對反射率/解析結果Fitting/折射率n的波長相關性/消光系數(shù)k的波長相關性
3D顯示功能(面內(nèi)膜厚分布、鳥窺圖、等高線、斷面圖)
本儀器是一套使用積分半球對薄膜狀樣品或粉狀物樣品進行量子效率測試的系統(tǒng)。
半積分球。大塚電子獨有專利,提高積分球測試效率一倍,更易于樣品的裝夾,切換迅速(世界范圍內(nèi)獨i家);(2)多次激發(fā)修正。大塚電子獨有專利,i大程度降低樣品所反射的激發(fā)光再次照射樣品帶來的多次激發(fā), 對粉末和固體測試精度提高明顯(世界范圍內(nèi)獨i家);(3)光譜可擴展, 光譜探測范圍可擴展至1700nm甚至2550nm.(4) 可以升級配備控溫系統(tǒng)(-30℃-300℃)
不銹鋼樣品池及石英材質光學窗口,光學透過率大于98%,全波段無熒光反應,用于固體、粉末及薄膜樣品測試(數(shù)量5個),尺寸直徑≤10mm
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