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發布時間:2021-06-10 03:43  
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單工位噴淋清洗機
屬于清洗設備技術領域,為解決現有的噴淋清洗機工作效率低的問題而設計。本實用新型提供的單工位噴淋清洗機包括底座、位于所述底座上方的上料箱、設于所述上料箱一側的噴淋清洗裝置和儲液槽、用于夾緊待清洗的罐體的機械手、用于驅動所述機械手的驅動裝置以及控制系統,其中,所述儲液槽內設有撇油機構,頂部安裝有重力油水分離裝置,側壁可活動的連接有集油盒。本實用新型的單工位噴淋清洗機工作、操作和維修方便。


此方法適用于除去氧化膜或有機物。因為化學物質在硅片表面停留的時間比較短,對反應需要一定時間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學試劑很少,對控制成本及環境保護有利。
隨著集成電路制程工藝節點越來越先進,對實際制造的幾個環節也提出了新要求,清洗環節的重要性日益凸顯。
清洗的關鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小,半導體對雜質含量越來越敏感,而半導體制造中不可避免會引入一些顆粒、有機物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質對芯片良率的影響,實際生產中不僅僅需要提高單次的清洗效率,還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進行清洗,清洗步驟約占整體步驟的33%。
