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發布時間：2020-11-13 07:50
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光波超精密——光柵空氣導軌
氣浮導軌的結構形式
平面封閉型導軌：這種形式的導軌，由于工作臺導軌面變形較小，可以達到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機床和測量儀器等設備的長導軌。
重量平衡式導軌：此結構導軌的圓度、圓筒度和導孔間距等精度完全由機械加工確定，全部載荷由導柱承擔，易發生變形，故除垂直導軌外，多用于輕載荷、短導軌。
真空負壓平衡式導軌：該導軌結構簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負荷變化小的場合。
光波超精密——光柵空氣導軌
真空負壓平衡式導軌：該導軌與重量平衡式導軌是同一種類型，適用于工作臺重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負壓和靜壓的同時，由固定的導軌間隙維持。
線性導軌主要有以下幾種類型
一、滑動(動壓力)導向器。
二是靜壓導軌，根據流體的不同，可分為：空氣靜壓導軌(氣浮導軌)和液體靜壓導軌。
三、滾動導軌，因滾動體不同而分為滾珠導軌和滾柱導軌。
四、磁浮軌道
幾何精度和導向精度是直線導軌各項精度指標中比較重要的兩項。
光波超精密技術研究院——光柵空氣導軌
空氣靜壓導軌的運動部件和支撐部件通過氣膜彼此隔離，當壓縮空氣從氣浮板和支撐表面之間的空隙中排出時就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導軌中放置幾個。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節流器進入氣腔，沿封氣朝向外流動，在封氣面和承導面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態，從而產生空氣摩擦。負荷增大時，氣膜厚度降低，而負荷增大時，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤滑作用。
光波超精密氣浮導軌——光柵空氣導軌
大尺寸精密花崗石氣浮導軌系統作為標準基準工作平臺，主要用于大尺寸測量設備的示值校準。通過拓展（安裝長度基準器激光或光柵）常應用于大尺寸測量設備（如：激光跟蹤儀）的距離示值校準、空間尺寸測量示值校準、動態示值校準；激光準直儀的準直精度調試及校準；手持式激光掃描儀、激光測距儀的定位精度校準；通過安裝影像系統可以實現線紋尺、鋼卷尺等測量儀器和設備的測試與校準等。
大理石氣浮導軌對材料的要求
大理石氣浮導軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術,因此它具有軸/徑向跳動小、重復定位精度高、加載驅動力小、能在高轉速下平穩工作等特性.為了保證氣浮導軌具備這些性能,在選用制作材料時要求它具有以下特征:
1.導熱性要好,隨時間及空間改變,溫度隨之改變進而造成構件內部的溫度梯度,引起機器結構的扭轉和彎曲;
2.熱膨脹系數要小,避免在溫度-變化下產生過大的伸長縮短;
3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導軌在受力后出現較大的變形;
4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;
5.具有較高的強度,在①定的力量范圍內不易斷裂;
6.對于運動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機的高速、高加速運動而產生的測量機慣性力不會造成損傷;
7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);
8.工藝性好,易于加工,成本要低.
作為超精密測量、超精密加工和半導體光刻等領域的重要應用,花崗石氣浮導軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發揮作用.
