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流量控制器基本原理

通過測量氣體流經流量器內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。質量流量控制器具有體積小,數字化程度高,安裝方便,測雖確等優點。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。

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流量控制器在高壓條件下如何使用?

質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產品型號;  三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規定的范圍。只要做到以上三點,  MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。25psi或更低)加上微熱(50~60°C)可使得液體從設備內部的微小氣道內蒸發。

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如何提高流量控制器的準確度？

提高氣體質量流量控制器實用準確度的措施為：

1.針對氣體質量流量控制器的實際工藝參數，對該流量計進行“個性化標準”，從而實現在實際使用流量點的一定范圍內，該氣體質量流量控制器的實際測量誤差(與標準值的差)趨于零。

2.把好氣體質量流量控制器的安裝環節，減少或消除機械應力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。

3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質量流量控制器測量準確度的影響。

4.把好氣體質量流量控制器的投用關。

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