大型磁控濺射鍍膜機(jī)廠(chǎng)家價(jià)格【至成真空科技】

真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)與工作原理介紹

一、真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)：

真空卷繞鍍膜機(jī)由真空罐、真空抽氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)、卷繞系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)及電氣系統(tǒng)組成。

真空罐是整臺(tái)真空鍍膜設(shè)備的主體部件，其結(jié)構(gòu)為圓柱形筒體，左端為圓形封頭封閉，右端的法蘭與卷繞車(chē)的大圓板對(duì)接實(shí)現(xiàn)密封。

外部聯(lián)接抽氣管道，內(nèi)部空間用于在真空狀態(tài)中鍍制產(chǎn)品，分為上下室，上室是基材卷繞室，下室是鋁絲蒸發(fā)鍍膜室。

二、真空鍍膜機(jī)的工作原理：

真空罐的正面中上部裝有可供觀察基材運(yùn)行情況和觀察鍍層質(zhì)量的長(zhǎng)方形觀察窗，正面中下部裝有可供觀察送絲情況和蒸發(fā)舟加熱狀態(tài)的長(zhǎng)方形觀察窗，同時(shí)還裝有可供觀察收料軸、放料軸運(yùn)轉(zhuǎn)狀況的圓形視窗各一個(gè)。

真空罐的背面中下部開(kāi)有一方形的蒸發(fā)鍍膜室抽氣口，尾部圓封頭處開(kāi)有一圓形的卷繞室抽氣口。真空罐的底部裝有水箱，用于罐體的冷卻，頂部裝有真空測(cè)量規(guī)管用于測(cè)量真空室內(nèi)的壓力。

真空鍍膜設(shè)備的環(huán)境要求

由于真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作，因此該設(shè)備要滿(mǎn)足真空對(duì)環(huán)境的要求。

我國(guó)制定的各種真空鍍膜設(shè)備的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（包括真空鍍膜設(shè)備通用技術(shù)條件、真空離子鍍膜設(shè)備、真空濺射鍍膜設(shè)備、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備）都對(duì)環(huán)境要求作了明確規(guī)定。只有滿(mǎn)足了真空鍍膜設(shè)備對(duì)環(huán)境的要求，才能使該設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)，加上正確的鍍膜工藝，方能生產(chǎn)出合格的鍍膜產(chǎn)品。

多片式比較片裝置的設(shè)計(jì)特點(diǎn)

1)固定筒圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和周向?qū)ΨQ(chēng)的固定方式，可保證其有足夠的強(qiáng)度和剛度，同時(shí)，還可阻止高溫濺射磨料對(duì)其內(nèi)部零部件污染，保證撥動(dòng)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的靈活性。

2)圓形軸承座的設(shè)計(jì)，保證軸承座安裝的密封性和垂直度；增大軸的直徑尺寸，加大軸承座中兩軸承的安裝間距，提高其自身的強(qiáng)度和剛度，保證轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中軸1的剛度和撥動(dòng)盤(pán)的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復(fù)的一致性。

3)裝載換位機(jī)構(gòu)，通過(guò)擴(kuò)大支承盤(pán)的直徑，使該機(jī)構(gòu)在平面方向的有效面積增大，可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片，有利于光路調(diào)整，提高光學(xué)薄膜質(zhì)量；比較片由單片玻璃作為一個(gè)比較片單元，比較片采用空間立體疊加安裝方式，多片玻璃疊加安裝在一個(gè)比較片存儲(chǔ)筒內(nèi)，實(shí)現(xiàn)一次可放置50~100片比較片，解決鍍膜機(jī)鍍制多層精密光學(xué)薄膜，比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問(wèn)題。

4)定位盤(pán)與槽型光藕的配合，通過(guò)槽型光藕來(lái)感知定位盤(pán)上三個(gè)均分的120°狹縫，控制電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)停止。軸1旋轉(zhuǎn)定位重復(fù)的一致性得到保證，帶動(dòng)撥動(dòng)盤(pán)完成準(zhǔn)確的撥片動(dòng)作。

5)轉(zhuǎn)動(dòng)密封饋入機(jī)構(gòu)引入威爾遜密封機(jī)構(gòu)，既保證電機(jī)通過(guò)齒輪嚙合帶動(dòng)軸的靈活轉(zhuǎn)動(dòng)，又保證真空室對(duì)外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計(jì)的真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置，其特點(diǎn)：(1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，強(qiáng)度高，可靠性好；(2)比較片裝載數(shù)量大，生產(chǎn)效率提高，可鍍制超多層精密光學(xué)薄膜；(3)比較片直徑增大，提高薄膜監(jiān)控的精度，降低對(duì)硬件系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制；