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催化氧化燃燒利用轉輪經過脫附區后，VOCs 進入脫附管路，經過脫附風機進入換熱器換熱，催化燃燒產生的部分熱量經過換熱被VOCs重新帶入催化燃燒器內，加熱升溫進行催化劑催化處理，催化燃燒技術可以在較低溫度（300℃~500℃）下實現對VOCs95%以上凈化效率，完全反應后生成CO2和H2O，同時放出大量熱，產生的熱量一部分通過混合罐進入轉輪脫附區對吸附在轉輪上的VOCs進行脫附；一部分進入換熱器換熱，換熱后的部分熱量通過煙囪排出，另一部分被經過換熱器的VOCs重新帶入催化燃燒器。反復循環利用，可以的降低能量損耗，同時實現廢氣自我催化分解的效果。

催化燃燒適用于含有可燃氣體、蒸氣等有毒有害氣體的凈化，但對于含有大量塵粒、霧滴等有毒有害氣體，容易引起催化床層的堵塞，使催化活性下降，從而降低凈化效率。催化燃燒凈化方法，幾乎適用于所有排放烴類或有臭味化合物的工業生產過程。

有機廢氣催化燃燒技術是指在催化劑的作用下，使有機廢氣中的碳氫化合物在溫度較低的條件下迅速氧化成水和二氧化碳，達到治理的目的。

RTO的燃燒方式與TO相同，只是將換熱器改為蓄熱陶瓷，高溫燃燒氣與新進廢氣交替進入蓄熱陶瓷直接換熱，熱量利用率可提高到90%以上，理念先進，運行成本較低，是目前國家主推的廢氣治理工藝。CO是采用貴重金屬催化劑降低廢氣中有機物與O2的反應活化能，使得有機物可以在250～350℃較低的溫度就能充分氧化生成CO2和H2O，屬無焰燃燒，高溫氧化氣通過換熱器與新進廢氣間接換熱后排掉，熱量利用率一般≤75%，常用于處理吸附劑再生脫附出來的高濃廢氣。