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              發布時間:2021-01-21 03:22  

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              蝕刻工藝通常稱為版

              刻蝕(Etch)是按照掩模圖形或設計要求對半導體襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性刻蝕的技術,它是半導體制造工藝,微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當重要的步驟。是與光刻相聯系的圖形化(pattern)處理的一種主要工藝。刻蝕分為干法刻蝕和濕法腐蝕。原位芯片目前掌握多種刻蝕工藝,并會根據客戶的需求,設計刻蝕效果好且性價比高的刻蝕解決方案。光刻掩模版通常用石英玻璃做為化學反應,選用方解石是因為其的近紫外線穿透率。







              掩膜(MASK):全稱單片機掩膜,是指程序數據已經做成光刻版,在單片機生產的過程中把程序做進去。優點是:程序可靠、成本低。缺點:批量要求大,每次修改程序就需要重新做光刻板,不同程序不能同時生產,供貨周期長。





              石英掩膜版


              使用石英玻璃為基板材料,光學透過率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整和耐磨,使用壽命長,主要用于掩膜版


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