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              真空鍍膜系統公司在線咨詢【艾明坷】

              發布時間:2020-12-18 20:16  

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              真空鍍膜機

              真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。

              需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經歷成膜過程,終形成薄膜。

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              真空抽不上去的原因

              1、漏率偏高就是我們通常所說的漏氣;.

              2、真空機組的抽氣能力不夠了,油被污染或氧化了:

              3、真空室內太臟放氣;

              4、真空室內有漏水;

              5、真空管道有漏氣;.

              6、或者是以上幾種可能都有。

              出現問題首先是要判斷,是不是拆卸過東西,是不是漏水?閥門打開了嗎?根據現象判斷原因,然后再去根據判斷找問題,可能會收到事半功倍的效果。

              養成良好的衛生習慣

              相比以前我們廠的設備是灰塵滿面、油漬不堪。也許很多人都認為,設備只要正常運轉就可以了,搞得再干凈也是做表面工作。我可是這樣認為的,一個人連表面工作都作不來,那真的還有內在、實在的工作嗎?當然設備和設備周圍的灰塵、油污對設備的本身的影響也是相當之大的。排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。灰塵能產生靜電,損壞電子元件;油污能使電線、水管硬化開裂,造成一些意想不到的問題出現。特別我們使

              用的真空設備,還有它本身的特殊性。真空設備講究的是-一個真空清潔度,真空清潔度越差,放氣性就越大。這樣使設備抽到較高的真空度所需的時間就越長。

              或者根本就無法抽到。這樣一來就減少我們的產量,二來影響到了我們的產品的質量。

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              真空鍍膜機的真空室設計方法

              真空鍍膜技術是在真空條件下采用物理或者化學方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術根據其采用方法的不同科分成蒸發鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設備采用的是磁控濺射鍍膜。

              真空室是真空設備的一個主要組成部位,真空鍍膜設備真空室設計主要考慮的就是密封性和可靠性,結構必須要合理,真空設備的材料生產都是在真空室內進行的,材料對真空度的影響要小,設計不能馬虎,要注意一些問題。

              使用磁控濺射的真空鍍膜機一般采用的是圓筒主體結構,結構上要保證快速抽空,因氣袋會緩慢的放氣,因此要避免出現隔離孔穴,真空系統上端會加裝磁控濺射槍,為了使真空室和元件有足夠的強度,保證在外部和內部的作用力下不產生形狀的變化,厚度需要足夠。

              焊接是真空室制造中的一道關鍵工序,保證焊接之后的真空室不會產生漏氣現象,須合理設計焊接結構,提高焊接質量,處在超高真空的內壁粗糙度要拋光使室外室內表面很光潔,須特別注意的是需做好防止生銹的措施。


              真空鍍膜機部件分析

              真空主體——真空腔根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用1多的有直徑1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔體由不銹鋼' target=_blank>不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。以上內容由艾明坷為您提供,今天我們來分享的是薄膜均勻性概念的相關內容,希望對您有所幫助。

              輔助抽氣系統:排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統采用“擴散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。


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