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發(fā)布時間:2020-09-16 09:28  
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凈化車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
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每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的1級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于1級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
車間的地面要用防滑,堅固,不滲水,易清潔,耐腐蝕的材料鋪制,凈化車間地面表面要平坦,不積水。車間整個地面的水平在設計和建造時應該比廠區(qū)的地面水平略高,地面有的斜坡度。
車間的墻面應該鋪有2 米以上的墻裙,墻面用耐腐蝕,易清洗消毒,堅固,不滲水的材料鋪制及用淺色,無毒,防水,防霉,不易脫落,可清洗的材料覆涂。凈化車間的墻角,地角和頂角曲率半徑不小于3厘米呈弧形。凈化車間的頂面用的材料要便于清潔,有水蒸氣產(chǎn)生的作業(yè)區(qū)域,頂面所用的材料還要不易凝結水球,在建造時要形成適當?shù)幕《龋苑览淠温涞疆a(chǎn)品上。車間門窗有防蟲,防塵及防鼠設施,所用材料應耐腐蝕易清洗。窗臺離地面不少于1米,并有45 度斜面。